把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體,。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時,，PH3與B2 H6等氣體也會產(chǎn)生自燃,。可燃易燃?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍,，即上限,、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高,，如B 2H6的爆炸上限為98%,，爆炸下限為0.9%。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3,。

特氣壓力管道工程規(guī)劃                                                                                                                   
(1)易燃性氣體
把自燃,、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體,。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒,，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時，PH3與B2 H6等氣體也會產(chǎn)生自燃,?？扇家兹?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限,、下限值,。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%,，爆炸下限為0.9%,。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3。
(2)毒性氣體(Toxic Gas)：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害,、有毒的,。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性***大，它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9,。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微,，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心,。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體,。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。
(3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas)：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強(qiáng)的毒性,。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬,，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性,，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等,。
(4)惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會直接對人體產(chǎn)生傷害,，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格,。但惰性氣體具有窒息特性,，在密閉空間若發(fā)生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等,。
(5)氧化性氣體(Oxide Gas)：這類氣體有較強(qiáng)的氧化性,，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等,。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等,。
實(shí)驗(yàn)室特種氣體管道工程安裝有哪些標(biāo)準(zhǔn)：
1、所有氣體管道都由高質(zhì)量的,、*退火型,、無縫連接的不銹鋼管SS-316L組成，銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴(yán)格的地方（比如通風(fēng)柜）
2,、所有的管路,、閥門、壓力表都由高質(zhì)量的不銹鋼構(gòu)成,，并且都是標(biāo)準(zhǔn)配件,。
3、根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的用氣量,，計算供氣壓力,、流量和管道的內(nèi)徑，所有氣體主管道原則上不低于9.52mm（3/8in,，儀器空氣主管道直徑為12.7mm）。管路末端,，原則上不低于6.35mm（1/4in,，也可根據(jù)實(shí)際使用量而定）。
4,、所有管路在天花板下面布設(shè),，并通過功能柱到中央臺。邊臺的氣體管路隱藏在實(shí)驗(yàn)工作臺后面服務(wù)通道內(nèi),。
5,、易燃?xì)怏w（如乙炔、氫氣等）需要和其他氣體分開,，單獨(dú)引入,。
6,、所有氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時,，才可以使用壓力配件,。
7、每個實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的閥門,、減壓閥門,、壓力表。此外,，對于供應(yīng)多臺分析儀器的氣體管路,，另外還需要?dú)怏w壓力控制指示裝置。
8,、引到工作臺的氣體管路將安裝單獨(dú)的球閥或針閥來控制,。
9、氣相色譜工作臺上均勻的排放各種氣體的出口,，管徑為3.18mm（1/8in）,。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。
10,、工作臺上氣體出口由單獨(dú)的閥門來控制,。
11、所有氣體出口為不銹鋼閥門,。
12,、氣體管路每隔1.5m的距離，都要有明確表標(biāo)示,，同時指示氣體的流向,。
13、氣體管路的支架要求耐腐蝕,，可以采用不銹鋼或其他合適的工程塑料等制作,。                                                特氣壓力管道工程規(guī)劃