氣體管路實(shí)驗(yàn)室分析儀器,，氣體管路非標(biāo)實(shí)驗(yàn)設(shè)備,，氣體管路連接及接頭的設(shè)計(jì)加工,。從氣瓶房到實(shí)驗(yàn)室氣體管路的氣體管線,，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)氣路箱的設(shè)計(jì)安裝,，氣體報(bào)警裝置的設(shè)計(jì)安裝,。
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（1）易燃性氣體
把自燃,、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體,。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒,，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí)，PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃,?？扇家兹?xì)怏w都有一定的著火燃燒**范圍，即上限,、下限值,。此范圍越大的氣體起**燃燒危險(xiǎn)性就越高,，如B 2H6的**上限為98%，**下限為0.9%,。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 ,。
毒性氣體（Toxic Gas）：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的,。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性大,，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微,，因此在貯存,、輸送以及使用的過(guò)程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來(lái)控制使用這些氣體,。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體,。
（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬,，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性,，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等,。
惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害,，在氣體傳輸過(guò)程中，相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格,。但惰性氣體具有窒息特性,，在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等,。
（5）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類氣體有較強(qiáng)的氧化性,，一般同時(shí)具有其他特性，如毒性或腐蝕性等,。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等 ,。                                                                                   德國(guó)GCE匯流排減壓器京南華建安裝