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GCE氣體匯流排減壓器專業(yè)安裝
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(1)易燃性氣體
把自燃,、易燃,、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒,,當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí),,PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃??扇家兹?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍,,即上限、下限值,。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高,,如B 2H6的爆炸上限為98%,爆炸下限為0.9%,。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 ,。
毒性氣體(Toxic Gas):半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的,。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性 大,,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微,,因此在貯存,、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體,。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體,。
(3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬,,但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性,,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等,。
惰性氣體(Inert Gas): 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害,,在氣體傳輸過程中,相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格,。但惰性氣體具有窒息特性,,在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。 GCE氣體匯流排減壓器專業(yè)安裝