1,、偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差,。
2,、線(xiàn)性誤差:這是一個(gè)對(duì)壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性,,但對(duì)于帶放大器的傳感器,,還應(yīng)包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn),,也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器,。
3、靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比,。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù),。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過(guò)程的變化,。
4、滯后誤差:在大多數(shù)情形中,,壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計(jì),,因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差,。
壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的,,那我們可以通過(guò)選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,從而來(lái)降低這些誤差,,滿(mǎn)足客戶(hù)的需求,。
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