電容傳感器是指將被測(cè)量(如尺寸,、壓力等)的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器。實(shí)際上,,它本身(或和被測(cè)物體)就是一個(gè)可變電容器,。
電容傳感器應(yīng)用:
電容傳感器可以直接測(cè)量的非電量為:直線位移、角位移及介質(zhì)的幾何尺寸(或稱物位),,直線位移及角位移可以是靜態(tài)的,,也可以是動(dòng)態(tài)的,例如是直線振動(dòng)及角振動(dòng),。用于上述三類非電參數(shù)變換測(cè)量的變換器一般說(shuō)來(lái)原理比較簡(jiǎn)單,,無(wú)需再作任何預(yù)變換。
用來(lái)測(cè)量金屬表面狀況,、距離尺寸,、振幅等量的傳感器,往往采用單極式變間隙電容傳感器,,使用時(shí)常將被測(cè)物作為傳感器的一個(gè)極板,,而另一個(gè)電極板在傳感器內(nèi)。近年來(lái)已采用這種方法測(cè)量油膜等物質(zhì)的厚度,。這類傳感器的動(dòng)態(tài)范圍均比較小,,約為十分之幾毫米左右,而靈敏度則在很大程度上取決于選材,、結(jié)構(gòu)的合理性及寄生參數(shù)影響的消除,。精度達(dá)到0.1μm,分辨力為0.025μm,??梢詫?shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量,它加給被測(cè)對(duì)象的力極小,,可忽略不計(jì),。
測(cè)物位的傳感器多數(shù)是采用電容式傳感器作轉(zhuǎn)換元件。電容式傳感器還可用于測(cè)量原油中含水量,、糧食中的含水量等,。
當(dāng)電容傳感器用于測(cè)量其他物理量時(shí),必須進(jìn)行預(yù)變換,,將被測(cè)參數(shù)轉(zhuǎn)換成d,,S或ε的變化。例如在測(cè)量壓力時(shí),,要用彈性元件先將壓力轉(zhuǎn)換成d的變化,。
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