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技術(shù)文章

RTS-2/RTS-2A型四探針測試儀(便攜式)應(yīng)用

閱讀:200          發(fā)布時間:2025-1-4

RTS-2/RTS-2A型四探針測試儀(便攜式)應(yīng)用

測量范圍寬,、精度高,、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作的便攜式設(shè)計    

體積僅為:125mm(寬)*145mm(高)*245mm(深)    

  

  RTS-2/RTS-2A型便攜式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的,專用于測量硅晶塊,、晶片電阻率及擴(kuò)散層,、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜,、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器,。
    儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配,。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快,、精度高、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn),。如有需要可加配測試臺使用,。
    本儀器廣泛應(yīng)用于太陽能單晶(多晶)生產(chǎn)廠家為硅材料的分選測試,半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠,、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試,。
    

四探針測試儀前面板

  

帶把手四探針探頭

技 術(shù) 指 標(biāo) :    

便攜式四探針測試儀按測量范圍可選配RTS-2型或RTS-2A型,,區(qū)別:測量范圍不一樣。    

 RTS-2測量范圍

    電阻率:0.01~1999.9Ω.cm,;  
 方塊電阻:0.1~19999Ω/□,;
   

 RTS-2A測量范圍

    電阻率:0.001~199.99Ω.cm;  
 方塊電阻:0.01~1999.9Ω/□,;
   

RTS-2恒流源

    電流量程分為100μA,、1mA兩檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)    

RTS-2A恒流源

    電流量程分為1mA,、10mA兩檔,,各檔電流連續(xù)可調(diào)    

數(shù)字電壓表

    量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
 分辨力:10μV,;
 輸入阻抗:>1000MΩ,;
 精度:±0.1% ;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,;極性,、超量程自動顯示,;    

四探針探頭基本指標(biāo)

    間距:1±0.01mm,;
 針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
 機(jī)械游移率:≤0.3%,;
 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力);    

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

    (見探頭附帶的合格證)    

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

    1Ω,、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字    

整機(jī)測量最大相對誤差

   (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%    

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

    ≤5%    

外型尺寸

    125mm(寬)*145mm(高)*245mm(深)    

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

    溫度:23±2℃;
 相對濕度:≤65%,;
 無高頻干擾,;
 無強(qiáng)光直射,;    


   



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