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RTS-7型二探針測試儀應用
閱讀：187 發(fā)布時間：2025-1-4RTS-7型二探針測試儀應用
專用于測試半導體材料縱向電阻率的儀器，統(tǒng)計分析測試數(shù)據并生成縱向分布圖,。
電阻率測量范圍：0.00001～100000Ω·cm,。
此二探針測試儀主機的設計可以同時實現(xiàn)四探針測試方法,，一機雙用。二探針測試儀加配四探針測試臺和四探針探頭,，可以變成四探針測試儀使用,一臺儀器主機同時實現(xiàn)二探針和四探針測試方法,。
RTS-7型二探針測試儀是運用二探針測量原理的多用途綜合測量設備，該儀器按照國家標準及美國材料與試驗協(xié)會（ASTM）SEMI MF397-1106（二探針法測定硅棒電阻率的標準方法）推薦的材料驗收檢測方法“兩探針法",，專用于測試半導體材料縱向電阻率的儀器,。
儀器由主機、測試臺,、二探針探頭,、計算機等部分組成，測量數(shù)據既可由主機直接顯示,，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據到計算機中加以分析,，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果,。
此二探針測試儀主機的設計可以同時實現(xiàn)四探針測試方法,，一機雙用。二探針測試儀加配四探針測試臺和四探針探頭,，可以變成四探針測試儀使用,一臺儀器主機同時實現(xiàn)二探針和四探針測試方法,。
儀器采用了最新電子技術進行設計、裝配,。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快、精度高,、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好、結構緊湊,、易操作等特點。本儀器適用于半導體材料廠,、科研單位,、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
RTS-7型二探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據并對測試數(shù)據進行統(tǒng)計分析,。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據，把采集到的數(shù)據在計算機中加以分析,，然后把測試數(shù)據以表格,，圖形直觀地記錄,、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據進行各種數(shù)據分析。
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技 術 指 標 ：
測量范圍
電阻率：0.00001～100000Ω.cm,；
恒流源
電流量程分為1μA,、10μA、100μA,、1mA,、10mA、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調
數(shù)字電壓表
量程及表示形式：000.00～199.99mV,；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性,、超量程自動顯示,；
二探針探頭基本指標
間距：1.59mm（可按用戶測試需求選配其它間距二探針探頭）；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機械游移率：≤0.2%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.86mm；
探針壓力：3±1N/單針,；
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)
0.01Ω,、0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字
二探針測試架
（選配）
配置T-2A測試架,，兩端電極直徑20mm，最大長度300mm,。
配置T-2B測試架,，兩端電極直徑50mm，最大長度300mm,。
(備注：其它尺寸測試架 可按用戶測試需求更改尺寸),。
四探針測試臺和四探針探頭
（選配）
此二探針測試儀主機的設計可以同時實現(xiàn)四探針測試方法，一機雙用,。二探針測試儀加配四探針測試臺和四探針探頭,，可以變成四探針測試儀使用,一臺儀器主機同時實現(xiàn)二探針和四探針測試方法,。
測試模式
可連接電腦測試也可不連接電腦測試
軟件功能
（選配）
軟件可記錄、保存,、打印每一點的測試數(shù)據,，統(tǒng)計分析測試數(shù)據最大值、最小值,、平均值,、最大百分變化。并將測試數(shù)據生成縱向分布圖,，也可把測試數(shù)據輸出到Excel中,，對數(shù)據進行各種數(shù)據分析。軟件還可選擇自動測量功能,，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試,。
計算機通訊接口
并口
標準使用環(huán)境
溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%,； 無高頻干擾,； 無強光直射；