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RTS-5型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀應(yīng)用
閱讀：187 發(fā)布時(shí)間：2025-1-3RTS-5型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀應(yīng)用
RTS-5型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱雙位組合)測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針,、電壓探針的變換,，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,。因而每次測(cè)量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置,。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度,。所有這些,，用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。
RTS-5型雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,，通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄、顯示出來,。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
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技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測(cè)量范圍
電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展),；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展),；
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω.cm,；
可測(cè)晶片厚度
≤3mm
可測(cè)晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái)),；
400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái)),；
恒流源
電流量程分為0.1mA、1mA,、10mA,、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV,；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性,、超量程自動(dòng)顯示；
四探針探頭基本指標(biāo)
間距：1±0.01mm,；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
探針壓力：5～16 牛頓(總力),；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)
0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差
(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
≤4%
測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)
采用雙電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，通過RTS-5雙電測(cè)測(cè)試軟件控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值,，然后根據(jù)雙電測(cè)測(cè)試原理公式計(jì)算出電阻值,。儀器主機(jī)也可兼容RTS-4四探針測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)單電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，兩套軟件可同時(shí)使用,。
軟件功能
軟件可記錄,、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)最大值,、最小值、平均值,、最大百分變化,、平均百分變化、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。
計(jì)算機(jī)通訊接口
并口,，高速并行采集數(shù)據(jù),。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
溫度：23±2℃；
相對(duì)濕度：≤65%,；
無高頻干擾,；
無強(qiáng)光直射,；