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RTS-4型四探針測試儀應用
閱讀：193 發(fā)布時間：2025-1-3RTS-4型四探針測試儀應用
可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能,，自動選擇適合樣品測試電流量程,；
高速并口通訊接口，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒,；
RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器,。
儀器由主機,、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果,。
儀器采用了最新電子技術進行設計、裝配,。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快、精度高,、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好、結構緊湊,、易操作等特點,。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠,、科研單位,、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
RTS-4型四探針測試儀前面板
RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析,。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,，然后把測試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
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技 術 指 標 ：
測量范圍
電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展),；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展),；
電導率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω.cm,；
可測晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測試臺),；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺),；
恒流源
電流量程分為0.1mA,、1mA、10mA,、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調
數(shù)字電壓表
量程及表示形式：000.00～199.99mV,；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性,、超量程自動顯示,；
四探針探頭基本指標
間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
探針壓力：5～16 牛頓(總力),；
四探針探頭應用參數(shù)
(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)
0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量最大相對誤差
(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度
≤5%
測試模式
可連接電腦測試也可不連接電腦測試
軟件功能（選配）
軟件可記錄、保存,、打印每一點的測試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)最大值、最小值,、平均值,、最大百分變化、平均百分變化,、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試,。
計算機通訊接口
并口,，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒
標準使用環(huán)境
溫度：23±2℃,；
相對濕度：≤65%,；
無高頻干擾；
無強光直射,；