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RTS-9型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀應(yīng)用

    RTS-9型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱雙位組合)測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針,、電壓探針的變換，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量,，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。因而每次測(cè)量不必知道探針間距,、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置,。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正，因此顯著降低了幾何因素影響,，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度,。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的,。
   

    RTS-9雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,。測(cè)試程序在計(jì)算機(jī)與RTS-9型四探針測(cè)試儀連接的狀態(tài)下，通過(guò)計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊,。
    測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測(cè)試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄,、顯示出來(lái),。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

技　術(shù)　指　標(biāo) ：    

 測(cè)量范圍

    電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展),；  
 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)；
 電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm,；
 電阻：10-5～105 Ω,；
   

可測(cè)晶片厚度

    ≤3mm    

可測(cè)晶片直徑

    140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái)),；
 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái)),；    

恒流源

    電流量程分為1μA、10μA,、100μA,、1mA、10mA,、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)    

數(shù)字電壓表

    量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV,；
 輸入阻抗：>1000MΩ,；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性,、超量程自動(dòng)顯示,；    

四探針探頭基本指標(biāo)

    間距：1±0.01mm,；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
 機(jī)械游移率：≤0.3%,；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；    

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

    (見探頭附帶的合格證)    

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

    0.01Ω,、0.1Ω,、1Ω、10Ω,、100Ω,、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字    

整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差

   (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%    

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

    ≤4%    

測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)

   采用雙電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),，通過(guò)RTS-9雙電測(cè)測(cè)試軟件控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值,，然后根據(jù)雙電測(cè)測(cè)試原理公式計(jì)算出電阻值,。儀器主機(jī)也可兼容RTS-8四探針測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)單電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，兩套軟件可同時(shí)使用,。    

軟件功能

   軟件可記錄,、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)最大值,、最小值、平均值,、最大百分變化,、平均百分變化、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。    

計(jì)算機(jī)通訊接口

    并口,，高速并行采集數(shù)據(jù),。    

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

    溫度：23±2℃；
 相對(duì)濕度：≤65%,；
 無(wú)高頻干擾,；
 無(wú)強(qiáng)光直射；