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60K 桌面型

60K 寬噴型

高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)簡(jiǎn)介：

    在傳統(tǒng)的高速旋涂無(wú)法提供均勻覆蓋深孔形貌或高縱橫比的應(yīng)用中,，高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)用均勻的光刻膠薄膜涂覆半導(dǎo)體成為了完整的解決方案,。與傳統(tǒng)的旋涂相比，采用超聲波噴涂的光致抗蝕劑涂層在沉積更均勻的涂層方面具有優(yōu)勢(shì)，特別是在高深寬比溝槽和v形槽結(jié)構(gòu)中沿側(cè)壁頂部沉積時(shí),，離心旋涂無(wú)法沉積均勻的涂層沿著側(cè)壁形成膜，而沒有過多的光致抗蝕劑沉積在腔體的底部,。事實(shí)證明,，使用超聲技術(shù)進(jìn)行直接噴涂是將光刻膠沉積到3D微結(jié)構(gòu)上的可靠且有效的方法,，從而減少了因金屬過度暴露于抗蝕劑涂層而導(dǎo)致的設(shè)備故障。

噴嘴：

噴嘴由高強(qiáng)度鈦合金和其他專有金屬制造,，使它們特別耐化學(xué)腐蝕，并提供*的聲學(xué)性能,。我們提供類型有：長(zhǎng)嘴型--寬噴型--探入型--散射型--聚攏型--線噴型等六種超聲波霧化噴嘴,。

優(yōu)勢(shì)：

1,、在MEA制造中證明了鉑的利用率高達(dá)90%。

2,、高孔涂層非常耐用，防止催化劑層開裂或剝落,。

3、可減少50%的材料消耗,，減少過噴,，節(jié)省昂貴的催化劑墨水,。

4、清潔,， 的噴霧模式，易于成型各種圖案,。

5,、高度可控的噴霧,，產(chǎn)生可靠一致的結(jié)果。

6、不堵塞的霧化噴霧,，不會(huì)偏離軌跡,。

7,、超低流量能力，可間歇或連續(xù)噴涂,。

8,、超聲振動(dòng)不斷地打破團(tuán)聚的顆粒,，使其均勻分散，使鉑的利用率 化,。

9,、能夠用非常小的液體樣品(只需10ml的催化劑溶液涂覆多個(gè)PEM),。適用于研發(fā)階段。

10,、對(duì)PEM有及好的粘附性，于高振動(dòng)燃料電池應(yīng)用,，如汽車零部件,。

服務(wù)：

    我們提供用于霧化噴涂的各種超聲波處理器,。我們也隨時(shí)為您提供滿意的加工定制服務(wù)并為您提出 解決方案。