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超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)介紹：

       在傳統(tǒng)的高速旋涂無(wú)法提供均勻覆蓋深孔形貌或高縱橫比的應(yīng)用中,，用均勻的光刻膠薄膜涂覆半導(dǎo)體成為了完整的解決方案。與傳統(tǒng)的旋涂相比,，采用超聲波噴涂的光致抗蝕劑涂層在沉積更均勻的涂層方面具有優(yōu)勢(shì),，特別是在高深寬比溝槽和v形槽結(jié)構(gòu)中沿側(cè)壁頂部沉積時(shí),，離心旋涂無(wú)法沉積均勻的涂層沿著側(cè)壁形成膜，而沒(méi)有過(guò)多的光致抗蝕劑沉積在腔體的底部,。事實(shí)證明,，使用超聲技術(shù)進(jìn)行直接噴涂是將光刻膠沉積到3D微結(jié)構(gòu)上的可靠且有效的方法，從而減少了因金屬過(guò)度暴露于抗蝕劑涂層而導(dǎo)致的設(shè)備故障,。

超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)組成：

       整機(jī)由超聲波霧化噴嘴,，驅(qū)動(dòng)電源，XYZ三軸聯(lián)動(dòng)伺服系統(tǒng),，智能化操作系統(tǒng)，液體供給系統(tǒng),，低速空氣整形裝置,，外殼箱體等組成。

優(yōu)勢(shì)：

      一,、各種表面輪廓的高均勻薄膜覆蓋率,。

      二、能夠以高均勻度涂覆高深寬比的溝槽,。

      三,、無(wú)堵塞的霧化噴涂。

      四,、能夠以高均勻度沉積薄的單微米層,。

      五,、經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的可重復(fù)噴涂工藝。

應(yīng)用：

       超聲噴涂設(shè)備主要應(yīng)用在燃料電池,、薄膜光伏電池,、薄膜太陽(yáng)能涂料、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池,、太陽(yáng)能電池,、石墨烯涂層、硅光伏電池,、玻璃鍍膜,、電子電路等行業(yè)。噴頭可適用于多種溶液,，污水,、化工液體、油料粘液也能霧化,。

服務(wù)：

       我們提供用于霧化噴涂的各種超聲波處理器,。我們也隨時(shí)為您提供滿意的加工定制服務(wù)并為您提出蕞佳解決方案。