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國產(chǎn)X-RAY膜厚測試儀

1,、儀器概述

    Thick 8000 X-RAY膜厚測試儀是專門針對鍍層厚度測量而精心設(shè)計(jì)的一款新型儀器,。主要應(yīng)用于：金屬鍍層的厚度測量、電鍍液和鍍層含量的測定,； ,、鉑、銀等貴金屬和各種飾的含量檢測,。

2,、性能優(yōu)勢

精密的三維移動(dòng)平臺
的樣品觀測系統(tǒng)
的圖像識別
輕松實(shí)現(xiàn)深槽樣品的檢測
四種微孔聚焦準(zhǔn)直器，自動(dòng)切換
雙重保護(hù)措施,，實(shí)現(xiàn)無縫防撞
采用大面積高分辨率探測器，有效降低檢出限,，提高測試精度
全自動(dòng)智能控制方式,，一鍵式操作!
開機(jī)自動(dòng)退出自檢、復(fù)位
開蓋自動(dòng)退出樣品臺,，升起Z軸測試平臺,，方便放樣
關(guān)蓋推進(jìn)樣品臺，下降Z軸測試平臺并自動(dòng)完成對焦
直接全景或局部景圖像選取測試點(diǎn)
軟件界面測試按鈕,，自動(dòng)完成測試并顯示測試結(jié)果

3,、技術(shù)指標(biāo)

分析元素范圍：從硫（S）到鈾（U）
同時(shí)檢測元素：多24個(gè)元素，多達(dá)五層鍍層
檢出限：可達(dá)2ppm,，薄可測試0.005μm
分析含量：一般為2ppm到99.9%
鍍層厚度：一般在50μm以內(nèi)（每種材料有所不同）重復(fù)性：可達(dá)0.1%
穩(wěn)定性：可達(dá)0.1%
SDD探測器：分辨率低135eV
采用的微孔準(zhǔn)直技術(shù),，小孔徑達(dá)0.1mm，小光斑達(dá)0.1mm
樣品觀察：配備全景和局部兩個(gè)工業(yè)高清攝像頭
準(zhǔn)直器：0.3×0.05mm,、Ф0.1mm,、Ф0.2mm與
Ф0.3mm四種準(zhǔn)直器組合
儀器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm
樣品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm
樣品臺尺寸：393(W)x 258 (D）mm
X/Y/Z平臺移動(dòng)速度：額定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平臺重復(fù)定位精度 ：小于0.1um
操作環(huán)境濕度：≤90%
操作環(huán)境溫度 15℃～30℃

國產(chǎn)X-RAY膜厚測試儀4,、測試實(shí)例

在計(jì)數(shù)率的情況下能有效分辨相近元素，大大提高測試穩(wěn)定性,、降低檢測限,。

Thick 8000X-RAY膜厚測試儀檢測譜圖

某國外X-RAY膜厚測試儀儀器檢測譜圖

11次測量結(jié)果（Au-Cu)的穩(wěn)定性數(shù)據(jù)對比如下：