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ICP3000等離子體發(fā)射光譜儀 

技術(shù)參數(shù)
射頻發(fā)生器技術(shù)指標(biāo)
輸入電源：交流220V,，電流20A
輸出功率：700~1600W
調(diào)節(jié)精度：2W
工作頻率：27.12MHz
頻率穩(wěn)定性：＜0.05% 
輸出功率穩(wěn)定性：＜0.1%
匹配方式：自動(dòng)匹配
電磁場(chǎng)泄漏輻射強(qiáng)度：距機(jī)箱30cm處電場(chǎng)強(qiáng)度E：＜0.5V/m
進(jìn)樣裝置技術(shù)指標(biāo)
輸出工作線圈：內(nèi)徑25mm,、3匝
三同心石英炬管：外徑20mm；根據(jù)中心通道大小有多種型號(hào)可選
高效進(jìn)口霧化器：同心型霧化器,，外徑6mm ,；多型號(hào)可選，高鹽,、耐HF等
霧化室：雙筒型霧化室,，可以選配旋流式霧化室，外徑57.2mm 
蠕動(dòng)泵：十二轉(zhuǎn)子四通道,，轉(zhuǎn)速可根據(jù)需求流量設(shè)置調(diào)節(jié)（即根據(jù)進(jìn)樣速度設(shè)定,，直觀，）
總氬氣消耗量：氬氣總消耗量小于14L/min
氬氣流量計(jì)和載氣壓力表規(guī)格：1.等離子氣流量計(jì)（100~1000）L/h (1.6~16L/min) 
2.輔助氣流量計(jì)（6~60）L/h (0.1~1L/min) 
3.載氣流量計(jì)（6~60）L/h (0.1~1L/min)
4.載氣穩(wěn)壓閥（0.2MPa）
5.冷卻水：水溫20~25℃ 流量>5L/min 水壓>0.1MPa
分光器技術(shù)指標(biāo)
光柵：中階梯光柵,，52.67 lp/mm,，64閃耀角，采用德國(guó)肖特公司熱膨脹系數(shù)接近于零的
Zerodur材料做基底,，性能更出眾
棱鏡：超純康寧紫外熔融石英,，在170nm處內(nèi)透過(guò)率99.6%
波長(zhǎng)范圍：165nm~900nm
焦距：430mm
數(shù)值孔徑：F/8，超高的光通量?jī)x器的檢出限和靈敏度
分辨率：<0.0068nm@200nm
雜散光：10000ppmCa 溶液在As189.042nm處的等效背景濃度<2ppm
光室：精密恒溫,，35±0.1℃
分布式氮?dú)獯祾?，正常吹?L/min,，快速吹掃4L/min
檢測(cè)裝置技術(shù)指標(biāo)
檢測(cè)器類型：電荷注入式檢測(cè)器（CID）
靶面尺寸：27.6mm×27.6mm，1024×1024尋址檢測(cè)單元
讀取方式：非破壞性讀取(NDRO) ,，全幅讀?。‵F）和任意讀取積分（RAI）
線性動(dòng)態(tài)范圍：108
波長(zhǎng)響應(yīng)范圍：165nm~1000n