X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線）,，激發(fā)被測樣品,，產(chǎn)生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光進(jìn)行檢測,。
技術(shù)原理
受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線,，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量,。然后,，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷,，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線,，根據(jù)莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數(shù)Z有關(guān),，其數(shù)學(xué)關(guān)系如下：
λ=K(Z? s) ?2
式中K和S是常數(shù),。
而根據(jù)量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流,，每個(gè)光具有的能量為：
E=hν=h C/λ
式中,，E為X射線光子的能量，單位為keV,；h為普朗克常數(shù)；ν為光波的頻率；C為光速,。
因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類,，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系,，據(jù)此,，可以進(jìn)行元素定量分析。
主要用途
X熒光光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強(qiáng)度,，可以 測定元素含量,。
近年來，X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展,，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金,、地質(zhì)、有色,、建材,、商檢、環(huán)保,、衛(wèi)生等各個(gè)領(lǐng)域,，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應(yīng)用得多也較為廣泛。
大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析,，可分析固體,、粉末、熔珠,、液體等樣品,，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快,、測量范圍寬,、干擾小的特點(diǎn)。
優(yōu)缺點(diǎn)
優(yōu)點(diǎn)
（a）分析速度快,。測定用時(shí)與測定精密度有關(guān),，但一般都很短，10～300秒就可以測完樣品中的全部待測元素,。
（b）X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān),，而且跟固體、粉末,、液體及晶質(zhì),、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象,。特別是在超軟X射線范圍內(nèi),，這種效應(yīng)更為顯著,。波長變化用于化學(xué)位的測定 。
（c）非破壞分析,。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變,，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量,，結(jié)果重現(xiàn)性好,。
（d）X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析,。
（e）分析精密度高,。含量測定已經(jīng)達(dá)到ppm級別。
（f）制樣簡單,，固體,、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析,。
（a） 定量分析需要標(biāo)樣,。
（b）對輕元素的靈敏度要低一些。
（c）容易受元素相互干擾和疊加峰影響,。
分類
X熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF）,。
以X熒光的波粒二象性中波長特征為原理的稱為波長色散型，以能量特征為原理的稱為能量色散型,。
