X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線）,，激發(fā)被測樣品,，產(chǎn)生X熒光（二次X射線）,，探測器對X熒光進行檢測。
技術(shù)原理
受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線,，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性,。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后,，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量,。
元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線,，根據(jù)莫斯萊定律,，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數(shù)Z有關(guān)，其數(shù)學(xué)關(guān)系如下：
λ=K(Z? s) ?2
式中K和S是常數(shù),。
而根據(jù)量子理論,，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量為：
E=hν=h C/λ
式中,，E為X射線光子的能量,，單位為keV；h為普朗克常數(shù),；ν為光波的頻率,；C為光速。
因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類,，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ),。此外,熒光X射線的強度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此,，可以進行元素定量分析,。
主要用途
X熒光光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強度,，可以 測定元素含量。
近年來,，X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展,，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì),、有色,、建材、商檢,、環(huán)保,、衛(wèi)生等各個領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應(yīng)用得多也較為廣泛,。
大多數(shù)分析元素均可用其進行分析,，可分析固體、粉末,、熔珠,、液體等樣品，分析范圍為Be到U,。并且具有分析速度快,、測量范圍寬、干擾小的特點,。
優(yōu)缺點
優(yōu)點
（a）分析速度快,。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短,，10～300秒就可以測完樣品中的全部待測元素,。
（b）X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體,、粉末,、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系,。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象,。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著,。波長變化用于化學(xué)位的測定 ,。
（c）非破壞分析。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變,，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量,，結(jié)果重現(xiàn)性好,。
（d）X射線熒光分析是一種物理分析方法,，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析。
（e）分析精密度高,。含量測定已經(jīng)達到ppm級別,。
（f）制樣簡單，固體,、粉末,、液體樣品等都可以進行分析。
缺點
（a） 定量分析需要標(biāo)樣,。
（b）對輕元素的靈敏度要低一些,。
（c）容易受元素相互干擾和疊加峰影響。
分類
X熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF）,。
以X熒光的波粒二象性中波長特征為原理的稱為波長色散型,，以能量特征為原理的稱為能量色散型。
