激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大,、測量速度快,、最高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學鏡組,，可實現(xiàn)線性測長,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。
激光干涉儀典型的應(yīng)用就是測量機床精度,，本文講解如何使用激光干涉儀測量五軸機床平移軸直線度誤差。
對于平移軸而言,，每根軸均有兩個直線度誤差,，因此三根軸有六個直線度誤差，均可采用激光干涉儀分別測得,。
原理：帶有圓孔的是直線度干涉鏡,，其與待測軸相連一同運動;長條鏡是直線度反射鏡靜止安裝，其是對稱結(jié)構(gòu),，上下左右均對稱,。當一束激光從源頭發(fā)出射入干涉鏡，干涉鏡將光束分成兩束,，形成一個很小的角度分別去往反射鏡,，由于反射鏡上下對稱，因此兩束光被反射后又回到干涉鏡,，匯合成一股光束,，去往激光頭的探測器。當運動軸產(chǎn)生直線度誤差時,，會使得干涉鏡相對于反射鏡在水平橫向方向發(fā)生相對運動,，而反射鏡是左右對稱的(左右的鏡片不在同一平面，有一定的角度),，因此會使得兩束分開的光束光程具有差別,，根據(jù)此差別，即可測得運動軸產(chǎn)生的直線度誤差,。
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