美國安捷倫Agilent進口渦輪分子泵Turbo-V 3K-G（如 V 2K-G 一樣）其葉片級數(shù)和泵的整體結構均經(jīng)過優(yōu)化,，可以工作在高純氬氣氛圍下和溫度*的環(huán)境中,。此外，它還擁有內置的控制器件,、一體化的放空和吹掃閥以及免維護的軸承,。所有這些特點使 Agilent Turbo-V 3K-G 渦輪分子泵成為鍍膜工業(yè)出色泵解決方案。
特性：
1,，“一體化”系統(tǒng)
2,，同類產(chǎn)品中抽速高
3，無油,、耐用,、可靠
4，MTTF 超過 200000 小時
5,，高級轉子設計大幅度降低了重量和機械應力
6,，擁有特制的轉子軸配合技術可大大降低轉子拉伸應力
7,，采用了安捷倫 A-PLUS 軟件（原 T-plus）
美國安捷倫Agilent進口渦輪分子泵應用范例：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設計旨在實際應用中達到高性能,。泵的緊湊型設計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求,。渦旋分子泵幾乎不需要維護，并可避免錯誤使用,。無論您是終端用戶還是原始設備制造商,，安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng),。
| 領域 | 應用 | 詳細說明 |
質譜和分析儀器 | - 針對質譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
- 具有多入口泵組的定制泵
- 低成本,、易于使用、高分析性能
- 對于 GC/MS,，提供用于相對低氣體載荷環(huán)境的 1 個真空室和用于分析無機樣品的中等真空接口
- 對于 LC/MS,，需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
- 對于 ICP-MS,，提供多種真空系統(tǒng),，包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
- 對于 TOF 系統(tǒng)，需要較小尺寸,、高通量和高效的散熱設備
| |
科研中的真空應用 | - 非常清潔,、可靠和高性價比的 HV 和 UHV
- 粗真空軸承未暴露于 UHV，降低了污染
- 高速和高壓縮
- 可以以任意角度安裝
- 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
| - 高能物理
- 融合技術
- 一般 UHV 研究
- 同步光源粒子加速器
|
工業(yè)真空加工 | - 為薄膜沉積應用而專門設計的集成分子泵解決方案
- 適用于原始設備制造商和終端用戶的專業(yè)性能
- 適用于具有預真空鎖或大型內聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵
| 薄膜沉積： - 玻璃涂層設備（建筑和汽車玻璃,，平板顯示器）
- 薄膜太陽能電池生產(chǎn)（光電）
- 光學數(shù)據(jù)介質（CD,、DVD、磁光光盤）
- 磁性存儲介質
- 表面處理
- 光學涂層（眼科,、精密光電）
- 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆
設備加工： - 生產(chǎn)電視機和顯示器顯像管
- 疏散燈（高速公路照明,、投影機）
- X 射線管和電子設備
一般工藝： |
納米技術儀器 | - 分析從有機化合物到半導體晶片等各類物質
- 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
- 低振動渦旋泵適用于敏感的顯微分析
- 可快速,、無油式排空大型樣品室內的氣體
- 集成的泵控制器可靈活進行控制,，幾乎不生成電磁噪音
- 非常適合為半導體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
- 高轉速確保能夠以高泵速抽空半導體生產(chǎn)中釋放的輕質氣體（He,、H）
- 符合高速循環(huán)應用的嚴格要求,，例如真空裝載鎖
- 通過對多個渦旋泵聯(lián)用一個前級泵，可提高工具的可靠性
- 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
- 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設備放置于遠處
| - 電子顯微鏡（SEM,、TEM）
- 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
- 表面分析
- 半導體制造
|
技術規(guī)格：
|
| 抽速： | N2：2200 L/s | He：1900 L/s | Ar：2050 L/s |
| 壓縮比： | N2：> 1 × 107 | He：6 × 103 | Ar：1 × 108 |
| 極限真空*（使用推薦的前級泵） | < 1 × 10-8 mbar | | |
| 入口法蘭 | ISO 250F | | |
| 前級管道法蘭 | KF 40 NW | | |
| 額定轉速 | 31800 rpm | | |
| 使用推薦前級泵,，無氣體負載的啟動時間 | < 6 分鐘 | | |
| 前級壓力 | < 0.5 mbar | | |
| 推薦的小前級泵 | > 60 m3/h（取決于氣體流速要求） | | |
| 工作位置 | 任意位置 | | |
| 冷卻要求 | 水 | | |
| 重量 ISO (250) | 52 kg（114.63 磅） | |
|
化工儀器網(wǎng)
化工儀器網(wǎng)