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詳細介紹
Agilent Turbo-V 1K-G特性
1,、為薄膜沉積應用而專門設計的分子泵解決方案
2、極快的抽速和高氣體通量
3,、耐用型的設計和高效運行的冷卻系統(tǒng),，可實現(xiàn)連續(xù)運行
4、能夠保護軸承的氣體吹掃
5,、機架式 Navigator 控制器的樣品架類型
6,、通用電子器件接口和操作簡單的控制軟件
7、模擬 I/O 信號和 RS232/RS485 接口（為標準Agilent Profibus 接口選項）
美國Agilent Turbo-V 1K-G進口渦輪分子泵,，該裝置是專門為薄膜沉積設備精心設計的分子泵系統(tǒng),。其葉片級數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化，可以在高流速的氬氣氛圍下和溫度*的環(huán)境中工作,。另外,，可通過遠程機架控制器或泵機一體式控制器來驅(qū)動泵,。所有這些特點使安捷倫 Turbo-V 1K-G 成為了鍍膜工業(yè)的高真空解決方案。
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,，其設計旨在實際應用中達到高性能,。泵的緊湊型設計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,，并可避免錯誤使用,。無論您是終端用戶還是原始設備制造商，安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持,，或定制適合您的需求的系統(tǒng),。
典型渦輪泵應用
| 領域 | 詳細說明 | 應用 |
質(zhì)譜和分析儀器 |
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科研中的真空應用 |
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工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積：
設備加工：
一般工藝：
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納米技術(shù)儀器 |
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美國Agilent Turbo-V 1K-G進口渦輪分子泵技術(shù)規(guī)格
| 抽速： ISO 160： ISO 200： |
Ar：1040 L/s |
N2：1080 L/s | He：950 L/s/ He：1150 L/s
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H2：730 L/s
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| 壓縮比： | Ar：5 × 108 | N2：5 × 107 | He：4 × 104 | H2 1.5 × 104 |
| 極限真空*（使用推薦的前級泵） | < 1 × 10-10 mbar | |||
| 入口法蘭 | ISO 160F,，ISO 200F | |||
| 前級管道法蘭 ISO 160： ISO 200： | KF 25 NW KF 40 NW | |||
| 額定轉(zhuǎn)速 | 45500 rpm | |||
| 啟動時間 | < 5 分鐘 | |||
| 推薦的小前級泵 | > 20 m3/h (TriScroll 600, DS 602) | |||
| 工作位置 | 任意位置 | |||
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 烘烤溫度 | 入口法蘭高溫度 80 ℃（ISO 法蘭） | |||
| 振動參數(shù)（位移） | 在入口法蘭處小于 0.01 μm | |||
| 冷卻要求 | 水 | |||
| 電源 輸入電壓：100-240 Vac 大運行功率： | < 輸入頻率：50-60 Hz 使用氮氣和輕質(zhì)氣體（水冷設置）時為 400 W 使用氬氣（風冷設置）時為 260 W | 大輸入功率：600 VA | 待機功率：30 至 35 W | |
| 保險絲（Navigator 控制器） | 1 × 6.3 A | |||
| 串行通信（Navigator 套件） | RS232 電纜，9 針 D 型 | 外插頭和 9 針 D 型插口,，以及 Navigator 軟件（可選） | ||
| 儲存溫度 | -20 °C 至 +70 °C | |||
| 重量 | 26.8 kg（59.1 磅） |
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