清潔度無塵室可控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣,、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度,、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),,而所給予特別設計之房間,。
清潔度無塵室是一個人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命,。
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