基本概述：

真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)?，真空泵須有前?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,，對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工,、食品,、電子鍍膜等行業(yè)。

主要特點(diǎn)：

      1,、抽氣腔內(nèi)無油無水,，無二次污染；

      2,、與兩臺(tái)單級(jí)泵串聯(lián)相比,，結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間??；

      3、零部件少，便于維護(hù)維修,，降低了使用成本,；

      4、高低真空腔之間內(nèi)部連接,，減少了兩泵間連接管路的泄漏量,，提高了機(jī)組的性能指標(biāo)；

      5,、內(nèi)部結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,，提高了真空泵的效率，降低了功耗,；

      6,、整套機(jī)組的控制系統(tǒng)更加簡潔方便；

      7,、減少了機(jī)組輔助管件，更利于機(jī)組的制作與維護(hù),；

現(xiàn)狀

真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品,，產(chǎn)量很大，產(chǎn)值不高,，但它確實(shí)是一個(gè)直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品,。真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場增長的主要驅(qū)動(dòng)力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大,。

目前,，全球真空泵市場的年銷售額約20億美元，年增長率在7%左右,。

我國生產(chǎn)真空泵的廠家很多,，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右，僅相當(dāng)于美國一家公司真空泵的年銷售額,。通過對(duì)全球真空泵市場的分析我們可以看出,，各類真空泵的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ),，國產(chǎn)真空泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗(yàn)證,，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認(rèn)可并受到好評(píng),，應(yīng)該說我國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間,。

結(jié)構(gòu)

（1） 泵總體結(jié)構(gòu)型式

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

立式結(jié)構(gòu)的進(jìn),、排氣口水平設(shè)置,，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差,，故這種型式多用于小泵,。

臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下,。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn),、排氣方向是相互垂直的,。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口,，除接排氣管道一端外,，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好,。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu),。

泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝,。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便,，泵占地面積小,。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜,。

（2） 泵的傳動(dòng)方式

真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過一對(duì)高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的,。主動(dòng)軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖,。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過去帶動(dòng),，這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中均勻,。這種傳動(dòng)方式的最大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度,，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便,；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè),。

真空泵分類

液環(huán)泵

雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,，但在中國的石油、化工,、電力,、輕紡,、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場,。液環(huán)泵工作原理在國外,，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵,，由于液環(huán)泵大部分是鑄件,，加工要求也不高，屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品,，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競爭優(yōu)勢,，關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)，縮小體積,，減輕重量,，提高效率，降低能耗,。

滑閥泵

由于滑閥泵比較耐用,、可靠，國內(nèi)外各種真空爐,、鍍膜機(jī)以及干燥,、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵，滑閥泵工作原理但是滑閥泵鑄件重,，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴,。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場,，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，杜絕噴油和漏油,，提高滑閥泵長期運(yùn)行的可靠性,。

直聯(lián)旋片泵

隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大,。由于這種泵數(shù)量很多,，加工裝配工作量很大，價(jià)格又很低,，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠,。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān)，價(jià)格又遠(yuǎn)比國外的泵便宜,，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢,，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題，確保直聯(lián)泵在高速,、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠,，同時(shí)還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力,。

羅茨泵

國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟,。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡,，所以這種泵可以直排大氣,。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用,，一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵,，所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),，實(shí)際上也是屬于干泵,。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工,、塑料,、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡,、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運(yùn)行的考驗(yàn),，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。

揚(yáng)州真空泵          揚(yáng)州真空泵