基本概述：

真空泵是一種旋轉式變容，真空泵須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內有較大的抽速,，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金,、化工、食品,、電子鍍膜等行業(yè),。

主要特點：

      1、抽氣腔內無油無水,，無二次污染,；

      2、與兩臺單級泵串聯(lián)相比,，結構緊湊,，占用空間小,；

      3,、零部件少，便于維護維修,，降低了使用成本,；

      4、高低真空腔之間內部連接,，減少了兩泵間連接管路的泄漏量,，提高了機組的性能指標；

      5,、內部結構的優(yōu)化,，提高了真空泵的效率，降低了功耗,；

      6,、整套機組的控制系統(tǒng)更加簡潔方便；

      7、減少了機組輔助管件,，更利于機組的制作與維護,；

現(xiàn)狀

真空泵是一個量大面廣的產(chǎn)品，產(chǎn)量很大,，產(chǎn)值不高,，但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產(chǎn)品。真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化,。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大,。

目前，全球真空泵市場的年銷售額約20億美元,，年增長率在7%左右,。

我國生產(chǎn)真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右,，僅相當于美國一家公司真空泵的年銷售額,。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發(fā)展,。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎,，國產(chǎn)真空泵已經(jīng)在各個不同領域得到應用并經(jīng)過驗證，有些泵還出口國外,，得到國外用戶的認可并受到好評,，應該說我國真空泵制造業(yè)在國內外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。

結構

（1） 泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構,。

立式結構的進、排氣口水平設置,，裝配和連接管路都比較方便,。但泵的重心較高，在高速運轉時穩(wěn)定性差,，故這種型式多用于小泵,。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下,。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,，可將排氣口從水平方向接出，即進,、排氣方向是相互垂直的,。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口,，除接排氣管道一端外,，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低,，高速運轉時穩(wěn)定性好,。一般大,、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝,。這種結構裝配間隙容易控制,，轉子裝配方便，泵占地面積小,。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,，潤滑機構也相對復雜。

（2） 泵的傳動方式

真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的,。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接,。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,，這樣主動轉子軸的扭轉變形小,，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻,。這種傳動方式的最大缺點是：a.主動軸上有三個軸承,，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便,；b.整體結構不勻稱,，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。

真空泵分類

液環(huán)泵

雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,，但在中國的石油,、化工、電力,、輕紡,、造紙、醫(yī)藥等領域仍然有著很大的市場,。液環(huán)泵工作原理在國外,，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵,，由于液環(huán)泵大部分是鑄件,，加工要求也不高，屬勞動密集型產(chǎn)品,，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢,，關鍵是要改進設計，縮小體積,，減輕重量,，提高效率，降低能耗。

滑閥泵

由于滑閥泵比較耐用,、可靠,，國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥,、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵,，滑閥泵工作原理但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大,，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴,。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲,，杜絕噴油和漏油,，提高滑閥泵長期運行的可靠性。

直聯(lián)旋片泵

隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大,，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大,。由于這種泵數(shù)量很多，加工裝配工作量很大,，價格又很低,，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術上已經(jīng)過關,，價格又遠比國外的泵便宜,，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題,，確保直聯(lián)泵在高速,、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠，同時還要進一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力,。

羅茨泵

從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看,，國外幾家大公司，如Leybold,、Balzers,、Alcatell,、Edwards和ULVAC,，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%,，羅茨泵產(chǎn)量不大,，但國外羅茨泵羅茨泵工作原理的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),，為了縮短抽氣時間,、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場，這樣就必須進一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲,，*解決軸封漏油問題,，改進泵的外觀質量，提高泵內的光潔度和清潔度,。另外,，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性,。

國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,，技術上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子,，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣,。為了滿足不同極限真空度的要求,，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,，所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級,。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵,。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油,、化工、塑料,、農藥,、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,，所以應該在國內大力推廣和應用,。

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