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Volcano Series In Situ Holder針對快速變溫過程原位高分辨研究需求構(gòu)建的原位觀察平臺,，根據(jù)客戶需求結(jié)合MEMS微加工工藝內(nèi)置加熱模塊、電學(xué)模塊和光學(xué)模塊,，通過對樣品的外場控制完成熱學(xué),、電學(xué)及光學(xué)性質(zhì)的研究。

Chip-Nova TEM Double tilt Holder(Optics/Biasing/Heating) 多功能雙傾樣品桿（光,、電,、熱）系統(tǒng)，同時涵蓋原位雙傾功能模塊,、光學(xué)功能模塊,、電學(xué)功能模塊、加熱功能模塊,，可在透射電鏡中實現(xiàn)固體樣品微結(jié)構(gòu)變化的原位表征,。在原位雙傾轉(zhuǎn)角功能的基礎(chǔ)上，通過開創(chuàng)性的將光作為外部條件搭載在原位樣品臺系統(tǒng)上,，結(jié)合MEMS微納加工制作的超低飄移微區(qū)加熱芯片,，實現(xiàn)全新的雙傾-光-電-熱四功能耦合，在操作α/β角度轉(zhuǎn)動的同時,，可同時引入光場刺激,、電場刺激、熱場刺激,，各功能模塊可同時在線工作并且相互獨立,，互不干擾。

圖TEM多功能雙傾樣品桿示意圖

技術(shù)指標(biāo)：

1) 樣品臺體材質(zhì)：高強度鈦合金,；

2) 電極數(shù)：4,；

3) 視窗膜厚：無膜（樣品懸空）或25nm氮化硅；

4) 穩(wěn)定漂移率＜1.5nm/min,；

5) 傾轉(zhuǎn)角：α≥±25°,，β≥±25°（實際范圍取決于極靴型號）；

6) 溫度范圍：RT~1300 ℃,；

7) 溫度穩(wěn)定性：≤±0.01 ℃（穩(wěn)定狀態(tài)）,；溫度精確度：>99%,；溫度均勻度：>99.50%；

8) 光源波長：紫外-可見光-紅外,；

9) 光源輻照強度：≥150 mW/cm2,；

10) 光纖接口：高精密度的SMA連接器；

11) 電學(xué)模塊（pA-mA,，普通模式±10V,，高壓模式±200 V）；

12) 電場強度：≥400 kV/cm,；

13) 適用電鏡：ThemoFisher/FEI,，JEOL，Hitachi,；

14) 適用極靴：ST,，XT，T,，BioT,，HRP，HTP,，CRP,；

15) (HR)TEM/STEM支持；

16) (HR)EDS/EELS支持升溫過程及高溫檢測,。

應(yīng)用案例

1300℃恒溫,，金屬合金擴散，芯片溫度穩(wěn)定性好,，漂移率低

室溫-1000℃變溫過程MOF材料碳化研究