掃描電鏡高溫原位系統(tǒng)是與掃描電鏡(SEM)集成，進(jìn)行高溫力學(xué)性能測試一體化分析的科研儀器,?？梢栽诟邷叵聦⒉牧系暮暧^力學(xué)性能與對應(yīng)的組織結(jié)構(gòu)進(jìn)行數(shù)萬倍以上放大并進(jìn)行實時觀測和顯微成像，主要用于研究材料在高溫下的力學(xué)性能,、變形,、斷裂等失效機(jī)制微觀過程的觀測，該加熱系統(tǒng)也可以單獨使用,。
本公司提供的掃描電鏡高溫原位系統(tǒng)有優(yōu)異的熱學(xué)性能：
1.高精密紅外測溫校正,，微米級高分辨熱場測量及校準(zhǔn)，確保溫度的準(zhǔn)確性,。
2.超高頻控溫方式,，排除導(dǎo)線和接觸電阻的影響，測量溫度和電學(xué)參數(shù)更精確,。
3.采用高穩(wěn)定性貴金屬加熱絲(非陶瓷材料),，既是熱導(dǎo)材料又是熱敏材料，其電阻與溫度有良好的線性關(guān)系,，加熱區(qū)覆蓋整個觀測區(qū)域,，升溫降溫速度快，熱場穩(wěn)定且均勻,，穩(wěn)定狀態(tài)下溫度波動±1℃,。
4.掃描電鏡高溫原位系統(tǒng)采用閉合回路高頻動態(tài)控制和反饋環(huán)境溫度的控溫方式，高頻反饋控制消除誤差,，控溫精度±1 ℃,。
5.多級復(fù)合加熱MEMS芯片設(shè)計，控制加熱過程熱擴(kuò)散,，極大抑制升溫過程的熱漂移,，確保實驗的高效觀察。
6.加熱絲外部由氮化硅包覆,，不與樣品發(fā)生反應(yīng),，確保實驗的準(zhǔn)確性。
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