高真空檢漏儀在將樣品放進(jìn)電鏡前,，仔細(xì)檢驗(yàn)樣品芯片安放是否存在泄露是必要的,，這可以提高原位樣品臺的使用效率，保護(hù)透射電鏡,。該設(shè)備是專門用于TEM樣品臺真空儲存和密封檢查,。它能夠在5 min內(nèi)將系統(tǒng)內(nèi)真空度抽至10^(-5) mbar，即TEM內(nèi)的真空環(huán)境。搭配的超高分辨數(shù)字顯微系統(tǒng),，自帶13寸顯示器及自動(dòng)變焦功能,，放大倍率達(dá)200X，分辨率達(dá)1 μm,。研究人員可輕松完成液體池/氣體池的密封性,、完整性檢查。并可觀察芯片窗體是否破裂或者污染,，檢驗(yàn)樣品在窗體分布情況,。
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