測量參數

Ra 、 Rp ,、 Rv ,、 Rt 、 Rz ,、 Rq ,、 Rsk 、 Rku ,、 Rc ,、 RPc 、RSm,、 Rmr （ c ）,、 tp 、 Rmr ,、 Rpm ,、

Rz1max 、 RzJIS ,、 Rmax ,、 Htp 、 R δ c ,、 R △ q ,、 R △ a 、Rk ,、Rpk ,、 Rvk 、 Mr1 ,、 Mr2 ,、 A1 、 A2

Pa ,、 Pp ,、 Pv ,、 Pt 、 Pz ,、 Pq ,、 Psk 、 Pku ,、 Pc ,、 PSm 、Pmr（ c ）,、 Pmr ,、 Pz1max ,、 PzJIS ,、

P δ c 、 P △ q

傳感器

檢測原理

電感式

測量范圍

400μm

針尖半徑

5μm

針尖材料

金剛石

觸針測力

4mN

觸針角度

90°

導頭縱向半徑

45mm

大驅動行程

19mm

量程和分辨力

量程

分辨力

± 25μm

0.001μm

± 200μm

0.008μm

波方式

2RC ,、 GAUSS

取樣長度

0.08mm ,， 0.25mm ， 0.8mm ,， 2.5mm

評定長度

1L ~ 5L （可選,， L 為取樣長度）

示值誤差

± 10%

示值重復性

≤ 6%

工作環(huán)境

溫度： 0 ℃ ~ 40 ℃

濕度：＜ 90% RH

外形尺寸及重量

主機： 155.4mm × 75mm × 53mm ，約580g

驅動器：Ф 26mm × 132.5mm ,，約 179g

電源

內置電池：鋰離子充電電池

電源適配器：輸入： 100V ~ 240VAC ,，50/60Hz

輸出： 9V ， 3A

標準配置

主機,、傳感器,、驅動器、充電器,、樣塊,、前后護套、探桿（ 4 根）