由于對光纖制造技術(shù)的傳統(tǒng)VAD(氣相軸向沉積)方法進行了重大改進,,成功開發(fā)了合成熔融石英SK-1300系列,。 與傳統(tǒng)直接法相比,,SK-1300系列純度,,OH含量低得多,因此它是種可用于半導體和液晶顯示行業(yè)的合成熔融石英,。
SK-1300系列在光學特性方面是的技術(shù),,因為它提供了很高的分辨率紫外線透射,無微夾雜,,耐日曬,,此外還具有耐熱性、機械強度和耐化學性,。 這些產(chǎn)品可用于半導體,、光學和所有物理或化學相關(guān)研究的各種工業(yè)應用。
可用于: 各種器件的晶片,,如TFT(多晶硅薄膜晶體管LCD),、SOI(絕緣硅)等;超大規(guī)模集成電路和液晶顯示器用光掩?;?;ULSI制造工藝用反應器爐管、夾具和工具,;放電管,;用于紫外和真紫外的光學元件,透鏡,,反射鏡,,窗口。
產(chǎn)品特點
1. 超高純度(總金屬雜質(zhì)小于0.5ppm),;
2. OH含量可控制在1 ppm或以下,;
3. 確保高耐熱性;
4. 實現(xiàn)高傳輸(SK-1310在紫外線、可見光和紅外的整個波長范圍內(nèi)都具有優(yōu)異的特性),;
5. 不含氣泡或條紋,;
6. 優(yōu)異的抗激光性能