微量氧分儀的原理主要有化學電池法,、原電池法,、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。而在進行微量氧分析時,，由于空氣中氧含量高達21%,，故而如果處理不當極易造成對樣品的污染和干擾，出現(xiàn)分析結(jié)果數(shù)據(jù)不正常,。以下是測試過程中需要注意的各個方面,。
一、泄漏
氧分析儀在初次啟用前必須嚴格檢漏,。儀器只有在嚴密不漏的前提下,才能獲得準確數(shù)據(jù)結(jié)果,。任何連接點，焊點,，閥門等處的不嚴密,，將會導致空氣中的氧反滲進入管道及儀器內(nèi)部，從而得出含氧量偏高的結(jié)果,。
二,、污染
在重新使用儀器時，首先須注意在連接取樣管路時是否漏入空氣,。并且必須認真將漏入空氣吹除干凈,，盡量不使大量氧氣通過傳感器以延長傳感器壽命。在管道系統(tǒng)凈化過程中,，為縮短凈化時間,，需要有一定的方法，一般使用高壓放氣及小流量吹除交替進行可迅速凈化管道,。
三,、氣路系統(tǒng)的簡化及潔凈
微量分析要求必須有效排除氣路上的各種管件，閥門,，表頭等中的死角對樣氣造成的污染,。因此，應(yīng)盡可能簡化氣路系統(tǒng),，選用死角小的連接件等,。并且，避免使用水封,，油封及臘封等設(shè)備,，防止溶解氧逸出造成污染，更需避免在樣氣引出至儀器進口的管線上增加易造成污染的凈化設(shè)備等,。只有這樣才能保證系統(tǒng)潔凈,，所得數(shù)據(jù)準確。
四,、背景氣的干擾
如燃料電池式分析儀,，不同的主背景氣（與背景氣的摩爾質(zhì)量有關(guān)）,，會影響分析結(jié)果。并且少量的氫氣也會對分析結(jié)果產(chǎn)生較大的影響,。對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況,，只有特殊型式的赫茲電池式氧分析儀（由美國△F公司生產(chǎn)）才能排除于擾，防止傳感器中毒,，給出正確分析數(shù)據(jù),。其他燃料電池式氧分析儀均不能用于酸性氣體分析。
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