臺(tái)式掃描電子顯微鏡主要由電子光學(xué)系統(tǒng),、信號(hào)收集處理系統(tǒng),、真空系統(tǒng),、圖像處理顯示和記錄系統(tǒng),、樣品室樣品臺(tái),、電源系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)等組成。利用電子和物質(zhì)的相互作用,，圖像為立體形象,，次級(jí)電子由探測(cè)體收集，并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào),，重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級(jí)電子信號(hào),，其中包括彈性背反射電子和非彈性背反射電子。
 

　　具有超高分辨率,，能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像,、反射電子象觀察及圖像處理，利用二次電子成像原理,，在鍍膜或不鍍膜的基礎(chǔ)上,，低電壓下通過(guò)在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細(xì)胞,、微生物以及生物大分子等,，獲得立體感強(qiáng)的樣品表面超微形貌結(jié)構(gòu)信息，具有高性能x射線能譜儀,，能同時(shí)進(jìn)行樣品表層的微區(qū)點(diǎn)線面元素的定性,、半定量及定量分析，具有形貌,、化學(xué)組分綜合分析能力,。
 

　　臺(tái)式掃描電子顯微鏡的末級(jí)透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下,，電子束在試樣表面掃描,。高能電子束與樣品物質(zhì)相互作用產(chǎn)生二次電子，背反射電子，X射線等信號(hào),。這些信號(hào)分別被不同的接收器接收,，經(jīng)放大后用來(lái)調(diào)制熒光屏的亮度。由于經(jīng)過(guò)掃描線圈上的電流與顯像管相應(yīng)偏轉(zhuǎn)線圈上的電流同步,，因此,，試樣表面任意點(diǎn)發(fā)射的信號(hào)與顯像管熒光屏上相應(yīng)的亮點(diǎn)一一對(duì)應(yīng)。
 

　　也就是說(shuō),，電子束打到試樣上一點(diǎn)時(shí),，在熒光屏上就有一亮點(diǎn)與之對(duì)應(yīng)，其亮度與激發(fā)后的電子能量成正比,。換言之,，掃描電鏡是采用逐點(diǎn)成像的圖像分解法進(jìn)行的。光點(diǎn)成像的順序是從左上方開(kāi)始到右下方,，直到圖像掃描完畢就算完成一幀圖像,。