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普通掃描電鏡是一種利用電子進(jìn)行成像的顯微鏡
普通掃描電鏡是一種利用電子進(jìn)行成像的顯微鏡,，由英文ScanningElectron Microscope直譯得名,，簡(jiǎn)稱為掃描電鏡,。由于電子的德布羅意波長(zhǎng)遠(yuǎn)小于可見(jiàn)光的波長(zhǎng),，掃描電鏡具有比光學(xué)顯微鏡高得多圖像分辨率,，使我們擁有在亞原子尺度上觀察微觀世界的能力,。
掃描電鏡噴金幾乎可以對(duì)所有類型的樣本進(jìn)行圖像處理，陶瓷,、金屬,、合金、半導(dǎo)體,、聚合物,、生物樣品等。然而,，某些特定類型的樣品更具有挑戰(zhàn)性,，并且需要操作者進(jìn)行額外的樣品制備，以便借助掃描電鏡噴金收集高質(zhì)量圖片,。這些額外的步驟包括在樣品中表面濺射一個(gè)額外的導(dǎo)電薄層材料,，如金、銀,、鉑或鉻等,。掃描電鏡噴金中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過(guò)程中,，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品,。
普通掃描電鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng),，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。
?。?） 真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分,。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器，真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空,。成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。
?。?） 電子束系統(tǒng)
電子束系統(tǒng)由電子槍和電磁透鏡兩部分組成,，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成像,。
?。?） 成像系統(tǒng)
電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用,，會(huì)產(chǎn)生次級(jí)電子,、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信號(hào),，然后通過(guò)不同的檢測(cè)器來(lái)區(qū)分這些信號(hào)以獲取所需要的信息,。
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