鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大,,抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好,,低真空下可以對不導電樣品無荷電成像,可用于形貌觀察,、顯微結構分析,、斷口形貌分析,,在材料、地質,、礦產,、冶金、機械,、化學,、化工,、物理,、電子、生物,、醫(yī)學等領域都有廣泛的用途。
工作原理:
通過對電子槍內的鎢燈絲加高電壓,,使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài),在陽極作用下,,處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經過掃描線圈磁場的控制,,電子束在樣品表面逐點掃描,,激發(fā)出二次電子,、背散射電子等物理信號,經探測器收集,、放大器放大后,,調制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測,。
JSM-IT500 鎢燈絲掃描電子顯微鏡是JEOL InTouchScope系列推出的新機型,。有哪些優(yōu)勢特點呢?
一,、Zeromag
從樣品座圖形和CCD圖像上可以尋找視野和分析位置。尋找視野非常輕松,,多視野連續(xù)分析的位置也很容易,。
光學CCD圖像和SEM圖像的結合和無縫操作大大提高工作效率!
利用Zeromag很容易設定大面積的蒙太奇區(qū)域,,有利于成像和觀察,。蒙太奇功能在斷裂分析和大區(qū)域中識別異物等從大面積區(qū)域上獲取詳細信息時非常有效,。
二,、實時分析,,SEM和EDS一體化集成
在SEM圖像觀察過程中,進行EDS分析
利用Live Analysis功能,,可在觀察窗口中進行被觀察區(qū)域的EDS分析,。可以很容易地找到自己感興趣的元素,,還能發(fā)現(xiàn)意料之外的元素,。
①顯示存在于測試區(qū)域中的主元素。能元素并顯示“Alert”,。
②會顯示分析區(qū)域的特征X射線譜圖和自動定性分析結果,。
③一鍵點擊就可以在電鏡操作界面和詳細分析顯示界面間切換。
三,、數(shù)據集中管理軟件SMILE VIEW™ Lab,,無縫創(chuàng)建報告
SMILE VIEW™ Lab是能集中管理與樣品臺位置聯(lián)動的CCD圖像、SEM圖像,、EDS分析結果等數(shù)據并快速生成報告的數(shù)據管理器,。查看以前獲得的數(shù)據、重新分析,,生成報告等都非常簡便,。
①顯示各個視野的名稱。
②能根據樣品名,、創(chuàng)建日期和數(shù)據類型等搜索數(shù)據,。
③在樣品座圖形或CCD圖像上顯示各個視野的位置。
④會列表顯示被選區(qū)域的元素圖,、譜圖等的數(shù)據和定量分析結果等,。