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日本電子電鏡的“二次激起”原理解讀
日本電子電鏡是六十年代發(fā)展起來的一種精細電子學(xué)儀器。使用它可以調(diào)查塊狀樣品的外表形狀,，然后得出有關(guān)樣品立體布局的概念。電子顯微鏡由三局部構(gòu)成：電子光學(xué)體系包括電子槍,、磁透鏡和掃描線圈等,，它能發(fā)生契合必定需求的電子束；樣品室是電子束與樣品相互效果的場所,。為便于獲取效果后生成的各種信號,，樣品室的體積容量較大；信號的搜集,、處置和顯現(xiàn)體系,。
電子顯微鏡中的細電子束在樣品外表作出光柵狀掃描，即從左上方掃向右上方,，掃完一行再掃其下相鄰的第二行,，直至掃完一幅(或幀)。如此重復(fù)運動,。這種作掃描運動的電子束,，在樣品內(nèi)的必定區(qū)域內(nèi)逐點“炮擊”出各種信號。這里所搜集,、使用的主要是從塊狀樣品外表“反射”回來的各種信號,，包括效果后的局部初始電子(即背散射電子)和初始電子失能所引起的二次激起信號。
日本電子電鏡的二次激起分析如下：
1.低能二次電子,；
2.電子-空穴對(電子束感生信號),；
3.陰極熒光；
4.特征X射線,；
5.俄歇(Auger)電子,。
此外,，少數(shù)實驗中也有運用樣品中的吸收電子和透射電子作分析的。當(dāng)電子束在樣品上掃描時,，運用同步掃描技術(shù),，使顯像管熒光屏上也有一光點在同步掃描。依托從樣品各點處收集到的有用信息,，使熒光屏上相應(yīng)的光點得到不一樣程度的加亮,。這就是電子顯微鏡中所選用的逐點成像原理。