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掃描電鏡分類方法介紹
掃描電子顯微鏡(簡稱掃描電鏡)是一種大型精密儀器,，主要結(jié)構(gòu)包括電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集,、圖像顯示和記錄系統(tǒng),、真空系統(tǒng)，是機械學(xué),、光學(xué),、電子學(xué)、熱學(xué),、材料學(xué),、真空技術(shù)等多門學(xué)科的綜合應(yīng)用。
掃描電鏡是一種新型的電子光學(xué)儀器,，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài),，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng),，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射,。二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的,，即使用逐點成像的方法獲得放大像,。
掃描電鏡分類方法：
1、按照電子槍種類分：鎢絲槍,、六硼化鑭,、場發(fā)射電子槍(冷場發(fā)射、熱場發(fā)射);
2,、按照樣品室的真空度分：高真空模式、低真空模式,、環(huán)境模式(冷熱高壓低壓等等);
3,、按照真空泵分：油擴散泵,、分子泵;
4、按照自動化程度分：自動,、手動;
5,、按照操作方式分：旋鈕操作、鼠標操作;
6,、按照電器控制系統(tǒng)分：模擬控制,、數(shù)字控制;
7、按照圖像顯示系統(tǒng)分：模擬顯像,、數(shù)字顯像,。