檢漏與現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn),、維修,、科研等領(lǐng)域密不可分，傳統(tǒng)的檢漏有泡泡檢漏、壓差檢漏等,，但這些方法有許多局限性和不足,，如精度差、效率低等,。氦檢作為精度*高的測(cè)漏方法,，已廣泛應(yīng)用于真空領(lǐng)域。氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)真空設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位,、定量和定性檢測(cè)的專用檢漏儀器,。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高,、操作簡(jiǎn)便,，檢測(cè)迅速等特點(diǎn)，是在真空檢漏技術(shù)中用得較普遍的檢漏儀器,。
氦質(zhì)譜檢漏儀的性能,、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。質(zhì)譜分析室的工作原理是對(duì)離子源氣體進(jìn)行電離,，電離出來的正離子經(jīng)過電場(chǎng)加速聚焦通過縫隙進(jìn)入均勻磁場(chǎng)，離子束在磁場(chǎng)力的作用下,，旋轉(zhuǎn)180o或90o按一定軌跡到達(dá)收集極,，此種形式稱之為磁性偏轉(zhuǎn)分析形式,。然后,，經(jīng)小電流放大器,、微處理器,，控制器等線路處理直至液晶屏顯示出讀數(shù)的大小,。
氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點(diǎn)是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10-11Pam3/s 數(shù)量級(jí),儀器響應(yīng)快,氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,例如,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船,、航天飛機(jī),、火箭,、衛(wèi)星,、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù),。
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