激光干涉儀資訊信息平臺,，激光干涉儀配置選型注意事項(xiàng)：

• 平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
• 平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
• 短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
• 長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
• 直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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