1. 產(chǎn)品簡介

　　激光干涉儀以光波為載體,，其光波波長可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn),，是高精度,、高靈敏度的測量儀器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。

SJ6000激光干涉儀集光,、機(jī)、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí),；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng),、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)最高4m/s的測量速度,，以及納米級(jí)的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償,；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文,、英文和俄文語言,，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>

　　SJ6000激光干涉儀具有測量精度高,、測量范圍大、測量速度快,、最高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實(shí)現(xiàn)線性測長,、角度、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

2.產(chǎn)品配置

　　SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),。

　　其中,，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。

二.工作原理

　　激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡,，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器,，其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）,。若光程差沒有變化時(shí),，探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。

　　若光程差有變化時(shí),，探測器會(huì)在每一次光程變化時(shí),，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化,。

三. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)

◆精度高

　　SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

◆功能廣

  ● 可實(shí)現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

  ● 可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

  ● 可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量；

  ● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；

  ● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

  ● 具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

  ● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。,、

◆軟件強(qiáng)

  ●  友好的人機(jī)界面,；

  ●  豐富的應(yīng)用功能模塊；

  ●  向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

  ●  簡潔化的記錄管理,；

  ●  支持中文,、英文和俄文界面；

 ● 支持企業(yè)專屬模板定制,。