1. 產(chǎn)品簡介

　　激光干涉儀以光波為載體,，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準,，是高精度,、高靈敏度的測量儀器，在制造領域應用廣泛,。

SJ6000激光干涉儀集光,、機、電,、計算機等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時,；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強,、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號采集,、調(diào)理及細分技術(shù)，可實現(xiàn)最高4m/s的測量速度,，以及納米級的分辨率,；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償,；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文、英文和俄文語言,，友好的人機界面,、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/p>

　　SJ6000激光干涉儀具有測量精度高,、測量范圍大,、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點,，結(jié)合不同的光學鏡組,，可實現(xiàn)線性測長、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量,。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析,、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。

2.產(chǎn)品配置

　　SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組,、角度鏡組,、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺,。

　　其中，線性鏡組為標配,，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設備的定位精度,、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補償,。

二.工作原理

　　激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束,，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡,，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡,，重新匯聚之后返回激光器,，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時,，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號,。

　　若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時,，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化,。

三. 產(chǎn)品功能特點

◆精度高

　　SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補償模塊,，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計,，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

◆功能廣

  ● 可實現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

  ● 可檢測數(shù)控機床,、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度,、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,；

  ● 可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量,；

  ● 可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；

  ● 可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設備誤差修正提供依據(jù),；

  ● 具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,，可進行振動分析,、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等,；

  ● 支持手動或自動進行環(huán)境補償,。、

◆軟件強

  ●  友好的人機界面,；

  ●  豐富的應用功能模塊,；

  ●  向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

  ●  簡潔化的記錄管理；

  ●  支持中文,、英文和俄文界面,；

 ● 支持企業(yè)專屬模板定制。