測量參數(shù)

Ra ,、 Rp 、 Rv ,、 Rt ,、 Rz 、 Rq ,、 Rsk ,、 Rku 、 Rc ,、 RPc ,、 RSm 、 Rmr （ c ）,、 tp ,、 Rmr ,、 Rpm 、

Rz1max ,、 RzJIS ,、 Rmax 、 Htp ,、 R δ c ,、 R △ q 、 R △ a ,、 Rk ,、 Rpk 、 Rvk ,、 Mr1 ,、 Mr2 、 A1 ,、 A2

Pa ,、 Pp 、 Pv ,、 Pt 、 Pz ,、 Pq ,、 Psk 、 Pku ,、 Pc ,、 PSm 、 Pmr （ c ）,、 Pmr ,、 Pz1max 、 PzJIS ,、

P δ c ,、 P △ q

傳感器

檢測原理

電感式

測量范圍

400μm

針尖半徑

5μm

針尖材料

金剛石

觸針測力

4mN

觸針角度

90°

導(dǎo)頭縱向半徑

45mm

大驅(qū)動行程

19mm

量程和分辨力

量程

分辨力

± 25μm

0.001μm

± 200μm

0.008μm

波方式

2RC 、 GAUSS

取樣長度

0.08mm ,， 0.25mm ,， 0.8mm ， 2.5mm

評定長度

1L ~ 5L （可選,， L 為取樣長度）

示值誤差

± 10%

示值重復(fù)性

≤ 6%

工作環(huán)境

溫度： 0 ℃ ~ 40 ℃

濕度：＜ 90% RH

外形尺寸及重量

主機： 155.4mm × 75mm × 53mm ,，約 580g

驅(qū)動器：Ф 26mm × 132.5mm ，約 179g

電源

內(nèi)置電池：鋰離子充電電池

電源適配器：輸入： 100V ~ 240VAC ,， 50/60Hz

輸出： 9V ,， 3A

標準配置

主機,、傳感器、驅(qū)動器,、充電器,、樣塊、前后護套,、探桿（ 4 根）