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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PDC200/210/510等離子清洗機(jī)
高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開(kāi)發(fā)的小型,。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單"的臺(tái)式高性能型號(hào),，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單,，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)多種用途,。

詳細(xì)介紹

PDC200/210/510等離子清洗機(jī)

高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開(kāi)發(fā)的小型等離子清洗機(jī),。

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式高性能型號(hào),，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單,，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)多種用途,。

用途

●CSP,、BGA、COB基板的等離子清洗

●去除有機(jī)膜和金屬氧化膜

●印刷電路基板的干式清洗

●界面活性處理

●LED封裝

特征

●DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）

●RIE模式

●均勻性高的電極構(gòu)造

●操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器

規(guī)格

型號(hào)	PDC200	PDC210	PDC510
等離子模式	RIE（DP模式選配）		RIE/DP
電極構(gòu)造	平行平板（固定）
高頻輸出	Max300W	Max500W
頻率	13.56MHz
控制·顯示	液晶觸摸屏
反應(yīng)室尺寸	W400×D250×H150mm		W500×D300×H200mm
電極尺寸	W250×D170mm		W400×D200mm
反應(yīng)室材質(zhì)	鋁
反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（Ar,、O2）
填充氣體	N2或干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制	流量計(jì)	聚合控制器
真空泵	另行選配	油泵（約345L/分）標(biāo)配	油泵（約500L/分）標(biāo)配
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2個(gè),、填充氣體1個(gè)
外形尺寸	W540×D600×H600mm	W540×D600×H600mm	W700×D700×H1285mm
重量	約100kg	約105kg	約180kg
電源	單相 AC100V 10A	三相AC200V 6A	三相AC200V 8A

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