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詳細(xì)介紹
PICO系列 等離子清洗機(jī)
Pico 等離子設(shè)備能夠以不同的形式進(jìn)行整合,，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)一同使用的常見的選裝件,。
Pico 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
小批量生產(chǎn)
分析 (REM, TEM)
醫(yī)療技術(shù)
滅菌
研究和開發(fā)部門
考古
紡織技術(shù)
塑料技術(shù)
PICO系列 等離子清洗機(jī)規(guī)格參數(shù)：
系列 | Pico系列 |
控制系統(tǒng) | 半自動(dòng)型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 4~15L |
真空腔室 | 圓形不銹鋼件,，配有蓋子 矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形鋁材,，或者配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP),，或者配有鉸鏈的門 |
電極 | 單層或多層 RIE |
樣品支架 | （選項(xiàng)：水冷型）,、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓,、散裝件轉(zhuǎn)鼓,、鋁板、不銹鋼板,、硼硅玻璃,、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質(zhì)量流量控制器 (MFCs) |
壓力計(jì) | Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本） |
計(jì)時(shí)器 | 數(shù)字型 |
高頻電流發(fā)生器 | 40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W,；0 - 100 W,；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級(jí)可調(diào)型 |
真空泵 | KASHIYAMA |
電源 | 臺(tái)式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位 |
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