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    高純制氮機(jī)主要應(yīng)用于外延,、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,，作為置換,、干燥、貯存和輸送用氣體,。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上,。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,，再用高純氦置換,。

    高純氮的用途：

用于合成氨、硝酸,、氰氨化鈣,、過氧化氫等生產(chǎn)。純氮?dú)庥米鞣乐寡趸?、揮發(fā),、易燃物質(zhì)的保護(hù)氣體、燈泡填充氣,。液氮主要用作冷源,，用于儀器或機(jī)件的深度冷凍處理及食品速凍。也用于低溫微粉碎用及電子工業(yè)等,。主要在集成電路,、半導(dǎo)體和電真空器件、彩色顯像管制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,，液體擴(kuò)散源的攜帶氣,，高溫?cái)U(kuò)散爐中器件的保護(hù)氣，還可用于石油,、化工和氮分子激光器的生產(chǎn)中,，且可作分析儀器載氣，如標(biāo)準(zhǔn)氣,、校正氣、平衡氣及在線儀表標(biāo)準(zhǔn)氣等,。純氮用于化工,、冶煉及電子工業(yè)，用作置換氣,、保護(hù)氣,。高純氮用于標(biāo)準(zhǔn)混合氣制備及電子工業(yè)中用作保護(hù)氣、置換氣,、運(yùn)載氣及反應(yīng)氣,。用于合成氨，制硝酸,，用作物質(zhì)保護(hù)劑,、冷凍劑等