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京南華建特氣柜制定結(jié)構(gòu)
閱讀：562 發(fā)布時(shí)間：2023-4-21特氣柜主要用要供應(yīng)特種氣體,，如易燃,，易爆，劇毒等,，主要用于半導(dǎo)體和LED的新興行業(yè),。
本實(shí)用新型涉及一種氣體的供氣裝置，特別涉及一種應(yīng)用在半導(dǎo)體,、微電 子,、光電等行業(yè)內(nèi)工藝制程中使用到的易燃易爆,、有毒有害、腐蝕性等特種 氣體最合適的鋼瓶儲(chǔ)存,、安全穩(wěn)定供氣的特氣柜,。
背景技術(shù)：
科技在不斷前進(jìn)，技術(shù)不斷革新,，因此半導(dǎo)體和新能源產(chǎn)業(yè)也隨之蓬勃發(fā) 展,，作為工業(yè)的血脈氣體,，得到了更廣泛的利用,。
氣體由于其本身的物理和化學(xué)性質(zhì)，決定了其在工業(yè)中被廣泛利用同時(shí),，
也伴隨了很高的危險(xiǎn)性,；氣體有毒性的,，腐蝕性的,，可燃性的,，其無論是哪 一種都會(huì)對(duì)人造成致命的危害,，因此對(duì)于氣體鋼瓶的儲(chǔ)存,、使用及輸送便提 出了很高的要求.對(duì)于氣體的使用不僅是在安全的可靠性,，還有就是對(duì)于輸 送到工藝設(shè)備時(shí)怎樣滿足工藝的要求,。
因此特別需要一種符合上述要求的特氣柜,。
◆按瓶數(shù)分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）
◆按操作方式分類：手動(dòng),、半自動(dòng),。
◆氣路配件，接頭,、閥門等全部是進(jìn)口電子級(jí)材料,，管道為316L,，自動(dòng)軌道焊接。
◆氣路設(shè)計(jì)合理完善,，工作管路具備抽空,、回充,、壓力指示等功能,，氣瓶柜留有排氣口,，并具有負(fù)壓檢測 ,。
◆氣瓶柜箱體采用安全設(shè)計(jì),，所選用的材料適用于各種不同性質(zhì)的氣體，美觀,，緊湊，安全,，質(zhì)優(yōu)價(jià)廉,，可按照客戶要求定制,。
◆完善的安全報(bào)警裝置,，具有氣體泄漏檢測報(bào)警（如SiH4、PH3,、HCL等泄漏報(bào)警）報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí),，自動(dòng)切斷,。
特氣柜主要應(yīng)用在 MOCVD、PECVD,、刻蝕機(jī)等配套設(shè)備上,，應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能電池、生物工程,、微電子等行業(yè)