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京南華建特氣柜制定結(jié)構(gòu)

特氣柜主要用要供應(yīng)特種氣體,，如易燃,，易爆，劇毒等,，主要用于半導(dǎo)體和LED的新興行業(yè),。

本實用新型涉及一種氣體的供氣裝置，特別涉及一種應(yīng)用在半導(dǎo)體,、微電 子,、光電等行業(yè)內(nèi)工藝制程中使用到的易燃易爆、有毒有害,、腐蝕性等特種 氣體最合適的鋼瓶儲存,、安全穩(wěn)定供氣的特氣柜。

背景技術(shù)：

科技在不斷前進,，技術(shù)不斷革新,，因此半導(dǎo)體和新能源產(chǎn)業(yè)也隨之蓬勃發(fā) 展，作為工業(yè)的血脈氣體,，得到了更廣泛的利用,。

氣體由于其本身的物理和化學(xué)性質(zhì)，決定了其在工業(yè)中被廣泛利用同時，

也伴隨了很高的危險性,；氣體有毒性的,，腐蝕性的，可燃性的,，其無論是哪 一種都會對人造成致命的危害,，因此對于氣體鋼瓶的儲存、使用及輸送便提 出了很高的要求.對于氣體的使用不僅是在安全的可靠性,，還有就是對于輸 送到工藝設(shè)備時怎樣滿足工藝的要求,。

因此特別需要一種符合上述要求的特氣柜。

◆按瓶數(shù)分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）

◆按操作方式分類：手動,、半自動,。

◆氣路配件，接頭,、閥門等全部是進口電子級材料,，管道為316L，自動軌道焊接,。

◆氣路設(shè)計合理完善,，工作管路具備抽空、回充,、壓力指示等功能,，氣瓶柜留有排氣口，并具有負壓檢測 ,。

◆氣瓶柜箱體采用安全設(shè)計,，所選用的材料適用于各種不同性質(zhì)的氣體，美觀,，緊湊,，安全，質(zhì)優(yōu)價廉,，可按照客戶要求定制,。

◆完善的安全報警裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4,、PH3,、HCL等泄漏報警）報警信號被觸發(fā)時，自動切斷,。

特氣柜主要應(yīng)用在 MOCVD,、PECVD、刻蝕機等配套設(shè)備上,，應(yīng)用于半導(dǎo)體,、太陽能電池,、生物工程、微電子等行業(yè)

京南華建特氣柜制定結(jié)構(gòu)