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低溫泵簡介及原理

時間:2018/5/4閱讀:2763
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 低溫泵利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,,又稱冷凝泵,。低溫泵可以獲得抽氣速率zui大,、極限壓力zui低的清潔真空,,廣泛應(yīng)用于半導體和集成電路的研究和生產(chǎn),,以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備,、真空表面分析儀器,、離子注入機和空間模擬裝置等方面。
抽氣原理 在低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機冷卻到極低溫度的冷板,。它使氣體凝結(jié),,并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力,,從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝,、低溫吸附和低溫捕集,。
低溫泵①低溫冷凝:氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上,其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓,。抽氫時,,冷板溫度更低。②低溫吸附:氣體分子以一個單分子層厚 被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上,。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多,。③低溫捕集:在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子,被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附,。

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