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3D形貌儀的成像散光問題概述
3D形貌儀已被用于實(shí)驗(yàn)室、大學(xué)和行業(yè)使用，組合多種成像模式，能夠在同一測試平臺(tái)上運(yùn)行多種測試，只需單擊按鈕,，就能轉(zhuǎn)換成像模式,。這種組合可以輕松地對任何表面進(jìn)行成像如透明、平坦,、黑暗,、扁平、彎曲的表面等,。每種成像模式都具有各自的優(yōu)勢,，并且各項(xiàng)技術(shù)彼此互補(bǔ)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,，也可以減少維護(hù)成本,，從而提高效率。
3D形貌儀利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成,，它可以達(dá)到納米級的檢測精度,，并可快速獲取被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測，其主要用途是用于成品的質(zhì)量管理,，確保良品合格率,。可廣泛用于各類精密工件表面質(zhì)量要求高的如：半導(dǎo)體,、微機(jī)電,、納米材料、生物醫(yī)療,、精密涂層,、科研院所,、航空航天等領(lǐng)域,。可以說只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度,、輪廓等參數(shù)的測量,，除了3D形貌儀，沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求,。
成像散光問題一直影響3D形貌儀測量準(zhǔn)確度的因素之一,，這種現(xiàn)象如何進(jìn)行處理呢？
實(shí)際操作中啟動(dòng)開關(guān)電源后,，如果大屏幕上沒有聚焦,，分辨率較低，我們稱之為“散光問題”,。此時(shí),，無論如何更新物鏡，或者改變測量角度,，大屏幕上的畫面還是一樣的,。一開始這種情況,，很多人都不明白，以為鏡頭上有污垢造成的,。
對于以上問題先確認(rèn)一下是否是形貌儀的散光問題導(dǎo)致的,。如果確定是散光故障則很有可能是LED不聚光方式引起的，更換LED后重啟工作電源可以查看相關(guān)問題還是否存在,，一般情況都差不多是這個(gè)原因,。
其次拆開鏡框，看看玻璃鏡面是否平整,。如果是均勻的,，不會(huì)造成散光，但是不均勻會(huì)導(dǎo)致散光,。
通過上述兩種方法,，一般可解決好儀器的散光問題。