3D形貌儀(三維成像)能夠在同一測試平臺上運行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變,。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實驗檢測,,模式切換可實現(xiàn)全自動化。
形貌儀3D系統(tǒng)由臺架,、控制系統(tǒng),、探頭、針尖組成,。系統(tǒng)控制單元控制探頭沿樣品表面移動,,以測量形貌,、粗糙度、尺寸,。操作者可根據(jù)需要設(shè)定參數(shù),,如探頭移動的步長,選擇,、制定自己的測試模式,,以使測量長度、速度,、路徑,、分辨率達(dá)到*化。測試系統(tǒng)的數(shù)據(jù)處理能力非常強,,可得到多種參數(shù),,包括形貌、粗糙度,、坐標(biāo)尺寸等,。同時有自動控制能力,可以和超精密微加工,、微組裝系統(tǒng)組合,,如為微加工系統(tǒng)提供在線檢測,以隨時控制加工質(zhì)量,。
3D形貌儀的啟動四步驟說明:
步驟1
先啟動計算機,,然后開啟儀器。使用原廠默認(rèn)密碼登錄系統(tǒng),。
步驟2
約30s后,,雙擊桌面上的3D圖標(biāo),打開測試軟件,。
步驟3
使用用戶名,、密碼登錄測試軟件。出廠時的默認(rèn)用戶名和密碼參考說明書,,參照說明書獲取用戶設(shè)置的更多信息,。
步驟4
點擊OK,初始化Z軸,。接著點擊OK,,初始化XY載臺,。
注意:Z軸和XY載臺即將移動,,請確認(rèn)沒有任何物體阻礙它們的運動路徑。請勿用手觸碰移動部件,。