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三維形貌儀的幾大校準方法解析
三維形貌儀是一種科學儀器,，是用來偵測并分析現(xiàn)實世界中物體或環(huán)境的形狀（幾何構(gòu)造）與外觀數(shù)據(jù)（如顏色,、表面反照率等性質(zhì)）?？煞譃榻佑|式,、非接觸式、激光等類型,。
三維形貌儀的應(yīng)用有三維表面輪廓測量,、粗糙度測量、膜的臺階高度測量,、空間分析和表面紋理表征,、曲率測量,、二維薄膜應(yīng)力測量、表面質(zhì)量和缺陷檢測等,。
三維形貌儀的幾大校準方法：
1.三維形貌校準
這一校準都和形貌測量的“高度”結(jié)果相關(guān),，所以稱為三維校準。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標定,；以及使用標準臺階塊對臺階高度測試精度校準,。
2.二維光強校準
這一校準和成像視場范圍內(nèi)的“光強”信號相關(guān)。設(shè)備有一些功能,，可以增強用戶對樣品表面觀察效果,。比如在某觀測模式下，可以自動去除視場中黑白條紋,，更清楚地觀測表面紋理,；真彩模式可以復現(xiàn)表面彩色信息。
由于以上功能相關(guān)標定都只涉及“光強”,，不涉及到形貌高度,，所以稱為二維光強校準。
3.橫向校準
這一校準是為了標定在當前設(shè)置下,，每個像素在橫向上代表的尺寸大小,。
三維形貌儀很多測試結(jié)果和分析設(shè)置，如溝槽寬度,，孔徑尺寸,，坡度斜率，空間濾波,，拼接測量,，都基于或和橫向尺寸相關(guān)。對于這些結(jié)果和分析,，橫向尺寸的標定是至關(guān)重要的,。