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關(guān)于三維形貌儀的軸向色差原理講解
實(shí)際生產(chǎn)中微觀(guān)上的表面形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)價(jià)具有直接的影響,，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更全面,、更真實(shí)地反映零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視,，因此三維形貌儀的測(cè)量就越顯重要,。通過(guò)對(duì)三維形貌的測(cè)量可以比較全面地評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞及設(shè)計(jì)要求的合理性,，這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)指導(dǎo)加工,、優(yōu)化加工工藝以加工出高質(zhì)量的表面,，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。
三維形貌儀的光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái),，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉,，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào),，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。儀器采用白光軸向色差原理對(duì)樣品表面進(jìn)行快速,、重復(fù)性高,、高分辨率的三維測(cè)量，測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌,，臺(tái)階高度,，給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池,、醫(yī)療工程,、制藥、生物材料,，光學(xué)元件,、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)準(zhǔn)確的、價(jià)格合理的計(jì)量方案,。
三維形貌儀適用于各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。多項(xiàng)式配置,、數(shù)據(jù)配置、掃描,、屏蔽和插值,，交互縮放，X-Y和線(xiàn)段剖面,，三維線(xiàn)路,、混合和固定繪圖，用于階越高度測(cè)量的地區(qū)差異繪圖,。