賽默飛X光電子能譜儀利用X射線激發(fā)樣品表面元素的內(nèi)層能級電子信號，再用電子能譜儀檢測光電子的動能及強(qiáng)度,，進(jìn)而確定元素的種類及價態(tài)等信息,。主要用于研究材料極表面的元素及元素不同價態(tài)組成。
賽默飛X光電子能譜儀是電子材料與元器件顯微分析中的一種先進(jìn)分析技術(shù),，而且是常常配合使用的分析技術(shù),。
由于它可以更準(zhǔn)確地測量原子的內(nèi)層電子束縛能及其化學(xué)位移，所以它不但為化學(xué)研究提供分子結(jié)構(gòu)和原子價態(tài)方面的信息,，還能為電子材料研究提供各種化合物的元素組成和含量,、化學(xué)狀態(tài)、分子結(jié)構(gòu),、化學(xué)鍵方面的信息,。
它在分析電子材料時，不但可提供總體方面的化學(xué)信息,，還能給出表面,、微小區(qū)域和深度分布方面的信息。另外,，因為入射到樣品表面的X射線束是一種光子束,，所以對樣品的破壞性非常小。
賽默飛X光電子能譜儀的應(yīng)用范圍：
光電子能譜是研究材料表面和界面電子及原子結(jié)構(gòu)的重要手段之一,，可提供物質(zhì)表面幾個原子層的元素定性,、定量信息和化學(xué)狀態(tài)信息；可對非均相覆蓋層（如薄膜）進(jìn)行深度分布分析,，了解元素隨深度分布的情況,；可對元素及其化學(xué)態(tài)進(jìn)行成像，給出不同化學(xué)態(tài)的不同元素在表面的分布圖像,；還可利用UPS（紫外光電子能譜）研究固體樣品的價電子和能帶結(jié)構(gòu)及功函數(shù),。廣泛應(yīng)用于固體物理學(xué)、基礎(chǔ)化學(xué),、催化科學(xué),、腐蝕科學(xué),、材料科學(xué)、微電子技術(shù)及薄膜研究,。
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