X射線光電子能譜儀一般由X射線源,、電子能量分析器、電子探測器和數(shù)據(jù)系統(tǒng),，以及其他附件構(gòu)成,。除了數(shù)據(jù)系統(tǒng)外，其他部件都要在超高真空下運行,。原因在于,，在超高真空下光電子可以避免與殘余氣體分子發(fā)生碰撞損失，另一方面樣品表面也可以避免吸附殘余氣體分子而影響樣品結(jié)果,。X光源激發(fā)到樣品上,，樣品表面的電子被激發(fā)出來，經(jīng)過傳輸透鏡,。此后通過電子能量分析器對光電子的動能進(jìn)行分辨，再通過電子探測器對電子進(jìn)行計數(shù),。到達(dá)數(shù)據(jù)系統(tǒng)進(jìn)行分析,，就可以呈現(xiàn)出X射線光電子能譜。
X射線光電子能譜儀的特點：
?。?）可以分析除H和He以外的所有元素,，對所有元素的靈敏度具有相同的數(shù)量級。
?。?）相鄰元素的同種能級的譜線相隔較遠(yuǎn),，相互干擾較少，元素定性的標(biāo)識性強(qiáng),。
?。?）能夠觀測化學(xué)位移?；瘜W(xué)位移同原子氧化態(tài),、原子電荷和官能團(tuán)有關(guān)?；瘜W(xué)位移信息是XPS用作結(jié)構(gòu)分析和化學(xué)鍵研究的基礎(chǔ),。
（4）是一種高靈敏超微量表面分析技術(shù),。
X射線光電子能譜儀的主要用途：
基于光電效應(yīng),，采用X射線激發(fā)被測樣品表面納米尺度內(nèi)的原子發(fā)射光電子，通過系統(tǒng)探測其所發(fā)射光電子的動能等信息,，進(jìn)而實現(xiàn)樣品表面的元素組成及化學(xué)鍵狀態(tài)的定性和定量分析,，能進(jìn)行最外層表面區(qū)域的分析，能進(jìn)行除H和He以外所有元素的分析,，靈敏度高,，具備化學(xué)組成,、價態(tài)、深度剖析及成像,、功函數(shù)特性的分析與表征功能,。
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