耶拿等離子體質(zhì)譜儀主要用于液體試樣（包括經(jīng)化學處理能轉(zhuǎn)變成溶液的固體試樣）中金屬元素和部分非金屬元素的定量分析,。使用霧化器將樣品溶液泵入進口系統(tǒng)，形成微小的樣品氣溶膠,。
樣品氣溶膠的一部分在等離子體被離子化,，通過雙錐將樣品離子從等離子體提取至含有四極桿質(zhì)量過濾器的真空系統(tǒng)中。
通過離子光學系統(tǒng)將不同質(zhì)荷比的離子輸送到質(zhì)量分析器中,。質(zhì)量分析器選擇特定質(zhì)荷比的離子,，然后通過電子倍增器對特定質(zhì)荷比的離子計數(shù)。將特定元素的離子得到的CPS值與校正曲線進行比較,，計算出樣品元素的濃度,。
耶拿等離子體質(zhì)譜儀的組成條件：
由ICP焰炬，接口裝置和質(zhì)譜儀三部分組成,；若使其具有好的工作狀態(tài)，必須設置各部分的工作條件,。
工作條件：主要包括ICP功率,，載氣、輔助氣和冷卻氣流量,。樣品提升量等,。
接口裝置工作條件：ICP產(chǎn)生的離子通過接口裝置進入質(zhì)譜儀，接口裝置的主要參數(shù)是采樣深度,，也即采樣錐孔與焰炬的距離,，要調(diào)整兩個錐孔的距離和對中，同時要調(diào)整透鏡電壓,，使離子有很好的聚焦,。
質(zhì)譜儀工作條件：主要是設置掃描的范圍。為了減少空氣中成分的干擾,，一般要避免采集N2,、O2、Ar等離子,。進行定量分析時,，質(zhì)譜掃描要挑選沒有其它元素及氧化物干擾的質(zhì)量，同時還要有合適的倍增器電壓,。
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