數(shù)字式四探針測(cè)試儀技術(shù)文章

SZT-4數(shù)字式四探針測(cè)試儀,，是二量程的電阻測(cè)量?jī)x器,，配以手持式測(cè)試頭或座式測(cè)試架，可用來(lái)測(cè)量片狀,，柱狀,，或塊狀，電阻率在0.01~200歐姆/厘范圍內(nèi)的半導(dǎo)體材料,。(客戶根據(jù)不同的要求可以選擇不同的量程,，Z小可以測(cè)量0.0001Ω Z大可以測(cè)量100000Ω,根據(jù)電流檔定精度)通過(guò)對(duì)恒流源的調(diào)整，可以對(duì)某些測(cè)量結(jié)果進(jìn)行修整,，例如對(duì)普通硅材料的測(cè)試結(jié)果要乘以0.628的探險(xiǎn)頭修正系數(shù),，對(duì)硅材料薄層擴(kuò)散和導(dǎo)電薄膜 “方塊電阻“ 的修正系數(shù)為4.53等均可通過(guò)調(diào)正恒流電流加以處理。SZT－4數(shù)字式四探針測(cè)試儀,，體形小巧,，操作方便，量程適中,，十分適於對(duì)重?zé)捇亓系姆诌x,。
本儀器工作環(huán)境條件為：
溫　　度：18℃―25℃
相對(duì)濕度：60%－80%
工作室內(nèi)應(yīng)無(wú)強(qiáng)電場(chǎng)干擾，不與高頻設(shè)備共用電源,。
二,，SZT-4數(shù)字式四探針測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)
1,測(cè)量范圍
電 阻 率:0.01-200Ω-cm
方塊電阻:0.01-200Ω-口
電    阻:0.01-200.0
2,數(shù)字電壓表 
(1)量    程:200mV單一量程
(2)誤    差:讀數(shù) ±0.2%±3字
(3)輸入電阻:>10MΩ
3,恒流源
(1)電流輸出:0~10mA連續(xù)可調(diào)
(2)量    程:1mA, 10mA
(3)誤    差:±0.2%±3字,
4,手持式四探針測(cè)試頭
(1)探  針  間  距:1mm
(2)探針機(jī)械游移率:±1.0%
(3)探  針  材  料:碳化鎢,φ0.
(4)壓力:Z大 2Kg
5,電源:220V±10%：50Hz
功耗：5W
6，外形尺寸：
7,，使用方法：取出儀器平放於桌上,，將三芯電源線接入儀器的電源插座中，并接通交流電壓（220V）,，再將測(cè)試探頭的插頭插入相應(yīng)的插座中,，按下電源開(kāi)關(guān)使儀器得電，儀器上的數(shù)字電壓表就有讀數(shù)顯示,，如果面板上的二個(gè)功能開(kāi)關(guān)全部處?kù)稄棾鰻顟B(tài),，則二個(gè)開(kāi)關(guān)旁邊的“調(diào)整"指示燈和：“1mA"指示燈將被點(diǎn)亮，此時(shí)旋轉(zhuǎn)電流調(diào)節(jié)旋鈕電壓表讀數(shù)就會(huì)發(fā)生有規(guī)則的變化,，這說(shuō)明儀器已經(jīng)可以正常工作,。
下一步就可以跟據(jù)測(cè)試的須要對(duì)電流進(jìn)行調(diào)整。電流調(diào)整應(yīng)該將電流開(kāi)關(guān)放在10mA的位置上,。
8,，電流調(diào)整：
（1）半導(dǎo)體（硅）材料的電阻率測(cè)試：在10mA電流量程上將電流調(diào)到6.28mA,相當(dāng)于在10mA電流情況下測(cè)得的結(jié)果,乘以探頭修正系數(shù)0.628。由於恒流源的調(diào)整,，1mA和10mA是同步的,，在`10mA調(diào)準(zhǔn)以后1mA量程同樣包含有這個(gè)修正系數(shù),。
（2）半導(dǎo)體（硅）材料薄層擴(kuò)散，玻璃或塑料的薄導(dǎo)電鍍復(fù)層的方塊電阻 測(cè)試:在10mA電流量程上將電流調(diào)至4.53mA, 測(cè)得結(jié)果乘以10,就是方塊電阻,。
（3）電阻測(cè)試：電阻測(cè)試不能使用探頭,，必須換用帶有鱷魚(yú)夾子的四線插頭“電阻測(cè)試線"（選配件）。電流調(diào)到10mA,電壓表的顯示值就是電阻值,，不用修正,。
（4）在做好測(cè)試前的準(zhǔn)備工作之后，取下探頭保護(hù)蓋,，將探頭壓在被測(cè)工件上,，使四根探針和工件保持良好接觸，
使用時(shí)的注意事項(xiàng),；
（1）保護(hù)蓋取下后一定要保存好,，用畢仍要蓋好，以防探針損壞,。
（2）儀器操作時(shí),，應(yīng)備戴乾燥手套，操作場(chǎng)地,，桌椅均應(yīng)保持乾燥,。
（3）在被測(cè)材料外形尺寸允許的情況下，建議使用臺(tái)式測(cè)試架（選購(gòu)件）,，可使測(cè)試精度和穩(wěn)定性都會(huì)有所提高,。
（4）對(duì)於被測(cè)工件為片狀其厚度<3.49毫米時(shí),還應(yīng)對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行厚度修正,修正參數(shù)見(jiàn)參數(shù)表,附錄`1A和附錄1B 。
（5）附錄2,，是對(duì)片狀工件外形（園形,，矩形）和測(cè)量位置的修正參數(shù)表。